Effect of Electron Beam Injection on the Removal of Metal Impurities in Silicon (Englisch)
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In:
Advanced Research on Material Engineering, Chemistry, Bioinformatics II, MECB, International Conference on Material Engineering, Chemistry, Bioinformatics, 2
;
55-58
;
2012
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ISSN:
- Aufsatz (Konferenz) / Print
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Titel:Effect of Electron Beam Injection on the Removal of Metal Impurities in Silicon
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Beteiligte:Tan, Yi ( Autor:in ) / Pang, Da-Yu ( Autor:in ) / Shi, Shu-Ang ( Autor:in ) / Dong, Wei ( Autor:in ) / Zou, Rui-Xun ( Autor:in ) / Jiang, Da-Chuan ( Autor:in )
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Erschienen in:Advanced Materials Research ; 531 ; 55-58
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Verlag:
- Neue Suche nach: Trans Tech Publications
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Erscheinungsort:Zürich
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Erscheinungsdatum:2012
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Format / Umfang:4 Seiten
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ISSN:
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DOI:
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Medientyp:Aufsatz (Konferenz)
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Format:Print
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Sprache:Englisch
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Schlagwörter:
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Datenquelle: