Comparative study of 3D measurement techniques (SPM, SEM, TEM) for submicron structures (Englisch)
- Neue Suche nach: Helleputte, H.R.J.R.
- Neue Suche nach: Haddeman, T.B.J.
- Neue Suche nach: Verheijen, M.J.
- Neue Suche nach: Baalbergen, J.J.
- Neue Suche nach: Helleputte, H.R.J.R.
- Neue Suche nach: Haddeman, T.B.J.
- Neue Suche nach: Verheijen, M.J.
- Neue Suche nach: Baalbergen, J.J.
In:
MNE, Micro- and Nano-Engineering, International Conference on Micro- and Nanofabrication, 1994
;
547-550
;
1994
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ISSN:
- Aufsatz (Konferenz) / Print
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Titel:Comparative study of 3D measurement techniques (SPM, SEM, TEM) for submicron structures
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Weitere Titelangaben:Vergleichende Untersuchung dreidimensionaler Meßverfahren (SPM, SEM, TEM) für Strukturen im Submikrometerbereich
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Beteiligte:Helleputte, H.R.J.R. ( Autor:in ) / Haddeman, T.B.J. ( Autor:in ) / Verheijen, M.J. ( Autor:in ) / Baalbergen, J.J. ( Autor:in )
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Erschienen in:MNE, Micro- and Nano-Engineering, International Conference on Micro- and Nanofabrication, 1994 ; 547-550Microelectronic Engineering ; 27, 1-4 ; 547-550
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Verlag:
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Erscheinungsdatum:1994
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Format / Umfang:4 Seiten, 7 Bilder, 5 Quellen
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ISSN:
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Coden:
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DOI:
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Medientyp:Aufsatz (Konferenz)
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Format:Print
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Sprache:Englisch
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Schlagwörter:
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Datenquelle: