A study on corrugated diaphragms for high-sensitivity structures (Englisch)
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In:
Journal of Micromechanics and Microengineering
;
7
, 4
;
310-315
;
1997
-
ISSN:
- Aufsatz (Zeitschrift) / Print
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Titel:A study on corrugated diaphragms for high-sensitivity structures
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Beteiligte:
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Erschienen in:Journal of Micromechanics and Microengineering ; 7, 4 ; 310-315
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Verlag:
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Erscheinungsdatum:1997
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Format / Umfang:6 Seiten, 10 Bilder, 1 Tabelle, 10 Quellen
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ISSN:
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DOI:
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Medientyp:Aufsatz (Zeitschrift)
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Format:Print
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Sprache:Englisch
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Schlagwörter:
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Datenquelle:
Inhaltsverzeichnis – Band 7, Ausgabe 4
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Optical reflectivity of micromachined {111}-oriented silicon mirrors for optical input - output couplersDaniel J Sadler / Michael J Garter / Chong H Ahn / Seungug Koh / Anthony L Cook et al. | 1997
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Electrochemical micromachining of controlled topographies on titanium for biological applicationsC Madore / D Landolt et al. | 1997
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Planarization and fabrication of sacrificial membranes across deep grooves in silicon by glass soot depositionDong-Sing Wuu / Ray-Hua Horng / Chen-Yu Cheng et al. | 1997
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Finite-element method analysis of freestanding microrings for thin-film tensile strain measurementsM Boutry / A Bosseboeuf / J P Grandchamp / G Coffignal et al. | 1997
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Equivalent circuit representation of electromechanical transducers: II. Distributed-parameter systemsHarrie A C Tilmans et al. | 1997
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A study on corrugated diaphragms for high-sensitivity structuresQuanbo Zou / Zhenfeng Wang / Rongming Lin / Sung Yi / Haiqing Gong / Mongking Lim / Zhijian Li / Litian Liu et al. | 1997
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Experimental analysis on the anodic bonding with an evaporated glass layerWoo-Beom Choi / Byeong-Kwon Ju / Yun-Hi Lee / Jee-Won Jeong / M R Haskard / Nam-Yang Lee / Man-Young Sung / Myung-Hwan Oh et al. | 1997
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Calculation and experimental determination of the structure transfer accuracy in deep x-ray lithographyG Feiertag / W Ehrfeld / H Lehr / A Schmidt / M Schmidt et al. | 1997
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Micromachined mold-type double-gated metal field emittersYongjae Lee / Seokho Kang / Kukjin Chun et al. | 1997
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AFM study of surface finish improvement by ultrasound in the anisotropic etching of SiTheo Baum / David J Schiffrin et al. | 1997
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AFM study of surface finish improvement by ultrasound in the anisotropic etching of Si(100) in KOH for micromachining applicationsBaum, T. et al. | 1997
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Micromechanical light modulators, pressure gauges, and thermometers attached to optical fibersDennis S Greywall et al. | 1997