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Zur Charakterisierung des Schichtverhaltens unter Zugbeanspruchungen wurden Versuche an Chromnitrid- und Titannitrid-beschichteten Stahlproben vorgenommen. Die Untersuchungen erfolgten bei gleichzeitiger Beobachtung der Proben im Rasterelektronenmikroskop und im Akustikmikroskop. Hierbei bietet das Akustikmikroskop die Möglichkeit, nicht nur die Oberfläche der Proben zu betrachten, sondern auch tiefer liegende Bereiche abzubilden. Bei den nur wenige micron dicken Hartstoffschichten reicht das bis hin zum Grundwerkstoff. Somit lassen sich Schäden auch unterhalb der Oberfläche zerstörungsfrei nachweisen. Die Zugversuche wurden an beschichteten 1 und 2 mm dicken Flachproben aus dem Grundwerkstoff X 5 CrNi 18 9 vorgenommen. Die Schichtdicken betrugen bei Titannitrid 4 - 5 micron, für Chromnitrid variierten sie zwischen 4 und 20 micron. Zusätzlich zu der Betrachtung im Mikroskop erfolgte eine Aufnahme der Längsdehnungen mit auf beiden Probenseiten aufgebrachten Dehnungsmeßstreifen. Durch die Aufnahme der Dehnungen auf den beschichteten Proben bei gleichzeitiger Untersuchung im Mikroskop (REM/SAM) war es möglich, das Auftreten von Rissen in den Schichten während der Belastung zu detektieren und das Fortschreiten der Schädigungen zu verfolgen. Durch die Untersuchungen wurde nachgewiesen, daß die Risse in der Grenzschicht zwischen Grundwerkstoff und Schicht entstehen.