Spektroskopische Ellipsometrie zur Analyse von Duennschichtsystemen (Deutsch)
- Neue Suche nach: Kasparick, B.
- Neue Suche nach: Stehle, J.L.
- Neue Suche nach: Bernoux, F.
- Neue Suche nach: Thomas, O.
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- Neue Suche nach: Stehle, J.L.
- Neue Suche nach: Bernoux, F.
- Neue Suche nach: Thomas, O.
In:
Technisches Messen
;
56
, 4
;
149-153
;
1989
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ISSN:
- Aufsatz (Zeitschrift) / Print
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Titel:Spektroskopische Ellipsometrie zur Analyse von Duennschichtsystemen
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Weitere Titelangaben:Spectroscopic ellipsometry for characterization of thin film structures
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Beteiligte:Kasparick, B. ( Autor:in ) / Stehle, J.L. ( Autor:in ) / Bernoux, F. ( Autor:in ) / Thomas, O. ( Autor:in )
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Erschienen in:Technisches Messen ; 56, 4 ; 149-153
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Verlag:
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Erscheinungsdatum:1989
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Format / Umfang:5 Seiten, 5 Bilder, 18 Quellen
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ISSN:
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Medientyp:Aufsatz (Zeitschrift)
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Format:Print
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Sprache:Deutsch
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Schlagwörter:
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Datenquelle:
Inhaltsverzeichnis – Band 56, Ausgabe 4
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Spektroskopische Ellipsometrie zur Analyse von DuennschichtsystemenKasparick, B. / Stehle, J.L. / Bernoux, F. / Thomas, D. et al. | 1989
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Rastertunnelmikroskopie in der MagnetplattenproduktionLang, A. / Strecker, H. / Ertingshausen, F. et al. | 1989
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Digitale Messwertverarbeitung. B) Darstellung und Analyse digitaler Signale. 16. FFT und IFFTBest, R. et al. | 1989
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