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Synonyme wurden verwendet für: Elektronenstrahllithografie
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Verwendete Synonyme:
- e beam lithography
- electron beam lithography
- elektronenlithografie
- elektronenlithographie
- elektronenstrahllithographie
-
Proximity function calculation of patterns in positive electron resists
NationallizenzSpringer Verlag | 1981|Schlagwörter: electron beam lithography -
Vertical silicon membrane arrays patterned with tri-level e-beam resist
NationallizenzSpringer Verlag | 1982|Schlagwörter: e-beam lithography -
Calibration algorithms for an electron beam metrology system
NationallizenzElsevier | 1983|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Physico-Chemical Basis of Laser Lithography
Springer Verlag | 1983|Schlagwörter: Electron Beam Lithography -
Feasibility of multi-beam electron lithography
NationallizenzElsevier | 1985|Schlagwörter: Electron-beam lithography -
Proximity-effect correction for VLSI patterns in electron-beam lithography
NationallizenzElsevier | 1985|Schlagwörter: electron-beam lithography -
Microstructures and Polymer Chain Length in Diacetylene Single Crystals
Springer Verlag | 1985|Schlagwörter: Electron Beam Lithography -
Metal lift-off using a trilevel resist system for electron beam lithography
NationallizenzElsevier | 1987|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Microlithography with Monolayers and Langmuir-Blodgett Films
Springer Verlag | 1987|Schlagwörter: Electron Beam Lithography -
Strategy for the correction of the proximity effect in electron beam lithography
NationallizenzElsevier | 1992|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Short-range and long-range scattering in electron beam lithography
NationallizenzElsevier | 1993|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Nanometer fabrication in mercury cadmium telluride by electron cyclotron resonance microwave plasma reactive ion etching
NationallizenzSpringer Verlag | 1993|Schlagwörter: E-beam lithography -
Demonstration of blazing effect in detuned second order gratings
IET | 1994|Schlagwörter: electron beam lithography -
Ridge waveguide distributed Bragg reflector InGaAs/GaAs quantum well lasers
IET | 1994|Schlagwörter: electron beam lithography -
Modified T-gates incorporating micro-airbridges to avoid mesa sidewall contact in AlInAs/GaInAs HEMTs.
IET | 1994|Schlagwörter: electron beam lithography -
Demonstration of blazing effect in second order gratings under resonant condition
IET | 1994|Schlagwörter: electron beam lithography -
Application de poly(3-octylthiophène) (P3OT) à la microélectronique
EDP Sciences | 1995|Schlagwörter: E-Beam lithography
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