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Synonyme wurden verwendet für: Elektronenstrahllithografie
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- e beam lithography
- electron beam lithography
- elektronenlithografie
- elektronenlithographie
- elektronenstrahllithographie
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Technischer Kurzbericht zum MNPQ-Projekt "Modellierungsinfrastruktur für die qualitative Verbesserung der Ergebnisse ultrapräziser Elektronenlithographie-Anlagen bei Strukturgrößen von 22 nm und darunter" : (Kurzname ModELitho)
TIBKAT | 2011|Schlagwörter: Elektronenstrahllithografie -
Optimized lithography process for through-silicon vias-fabrication using a double-sided (structured) photomask for mask aligner lithography
Freier ZugriffSPIE | 2015|Schlagwörter: e-beam lithography -
Row-structure stencil planning approaches for E-beam lithography with overlapped characters
Elsevier | 2016|Schlagwörter: E-beam lithography -
Fabrication and performance evaluation of an in-membrane micro-fuel cell
Elsevier | 2013|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Characterization of charging-induced pattern positioning errors in advanced mask making
SPIE | 2016|Schlagwörter: e-beam lithography -
Electron-beam lithography with character projection technique for high-throughput exposure with line-edge quality control
SPIE | 2016|Schlagwörter: electron-beam lithography -
Subwavelength transmission gratings for polarization separation in the infrared
SPIE | 2016|Schlagwörter: electron beam lithography -
Fabrication of high quality two-dimensional photonic crystal mask layer patterns
Online Contents | 2009|Schlagwörter: Electron beam lithography -
A micro-spectroscopy study on the influence of chemical residues from nanofabrication on the nitridation chemistry of Al nanopatterns
Elsevier | 2012|Schlagwörter: e-Beam lithography -
30‐4: Low‐voltage Driving Liquid Crystal Lens with Precise Control of Pretilt Angles using E‐beam Lithography
Wiley | 2016|Schlagwörter: E‐beam lithography -
Technischer Kurzbericht zum MNPQ-Projekt "Modellierungsinfrastruktur für die qualitative Verbesserung der Ergebnisse ultrapräziser Elektronenlithographie-Anlagen bei Strukturgrößen von 22 nm und darunter" : (Kurzname ModELitho)
Freier ZugriffTIBKAT | 2011|Schlagwörter: Elektronenstrahllithografie -
Nanofabrication and characterization of high-line-density x-ray transmission gratings
SPIE | 2017|Schlagwörter: electron beam lithography -
High resolution thermoplastic rapid manufacturing using injection moulding with SU-8 based silicon tools
Elsevier | 2011|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Electron-beam fabrication of analog-relief diffractive optics of non-flat substrates at Jet Propulsion Laboratory
NTRS | 2002|Schlagwörter: electron-beam lithography diffractive optics -
High-aspect nano-groove fabrication in thick film resists using 150-kV high acceleration voltage electron beam lithography
Elsevier | 2021|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Bottom-up/top-down, high-resolution, high-throughput lithography using vertically assembled block bottle brush polymers
SPIE | 2013|Schlagwörter: electron beam lithography -
Fabrication of silicon submicrometer ribbons by glancing angle deposition
SPIE | 2005|Schlagwörter: electron beam lithography -
Design of electrostatic microcolumn for nanoscale photoemission source in massively parallel electron-beam lithography
SPIE | 2015|Schlagwörter: electron-beam lithography -
Nanofabrication of 10-nm T-shaped gates using a double patterning process with electron beam lithography and dry etch
SPIE | 2017|Schlagwörter: electron beam lithography -
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Online Contents | 2016|Schlagwörter: Electron beam lithography
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