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A Comparative Analysis of Run-to-Run Control Algorithms in the Semiconductor Manufacturing Industry
British Library Conference Proceedings | 1996| -
Virtual metrology and feedback control for semiconductor manufacturing processes using recursive partial least squares
British Library Conference Proceedings | 2008| -
MSEC2006-21094 Leveraging Data Consolidation and Event Driven Systems to Provide Predictive Diagnostics on the Factory Floor
British Library Conference Proceedings | 2006| -
Control performance study of a networked machining cell (I)
British Library Conference Proceedings | 2000| -
Analysis and modeling of networked control systems: MIMO case with multiple time delays (I)
British Library Conference Proceedings | 2001| -
Improving Reliability, Yield and Throughput of Chemical-Mechanical-Planarization Through Process Automation and Control
British Library Conference Proceedings | 1998| -
Yield Improvement at the Contact Process Through Run-to-Run Control
British Library Conference Proceedings | 1999| -
A Process-Independent Run-to-Run Controller and Its Application to Chemical Mechanical Planarization
British Library Conference Proceedings | 1995| -
Development and Deployment of a Multi-Component Advanced Process Control System for an Epitaxy Tool
British Library Conference Proceedings | 2002| -
Multizone uniformity control of a chemical mechanical polishing process utilizing a pre- and postmeasurement strategy
British Library Online Contents | 2000| -
A multilevel approach to the control of a chemical-mechanical planarization process
British Library Online Contents | 1996| -
Demonstration of a Process-Independent Run-to-Run Controller
British Library Conference Proceedings | 1995| -
Multizone uniformity control of a chemical mechanical polishing process utilizing a pre- and postmeasurement strategy
British Library Conference Proceedings | 2000| -
BRIEF PAPERS - Network Design Consideration for Distributed Control Systems
Online Contents | 2002|Beteiligte: Moyne, J. -
4.A "Reducing CMP Process Cycle Time While Maintaining Yield With Automated Process Control"
British Library Conference Proceedings | 2001|
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