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Digital twins for metrology; metrology for digital twins
Freier ZugriffIOP Institute of Physics | 2024|Schlagwörter: virtual metrology -
An intelligent virtual metrology system with adaptive update for semiconductor manufacturing
Elsevier | 2017|Schlagwörter: Virtual metrology -
Smart Feature Selection to enable Advanced Virtual Metrology
DataCite | 2015|Schlagwörter: Virtual Metrology -
Total precision inspection of machine tools with virtual metrology
Taylor & Francis Verlag | 2016|Schlagwörter: automatic virtual metrology (AVM) -
Automatic Virtual Metrology (AVM)
Wiley | 2021|Schlagwörter: automatic virtual metrology, virtual metrology -
In-situ virtual metrology for the silicon-dioxide etch rate by using optical emission spectroscopy data
Online Contents | 2014|Schlagwörter: Virtual metrology -
Integrating support vector machine and genetic algorithm to implement dynamic wafer quality prediction system
Elsevier | 2009|Schlagwörter: Virtual metrology -
A SIA-LSTM based virtual metrology for quality variables in irregular sampled time sequence of industrial processes
Elsevier | 2021|Schlagwörter: Virtual metrology -
Development of convolutional neural network based Gaussian process regression to construct a novel probabilistic virtual metrology in multi-stage semiconductor processes
Elsevier | 2019|Schlagwörter: Virtual metrology -
Optimized estimator for real-time dynamic displacement measurement using accelerometers
Elsevier | 2016|Schlagwörter: Virtual metrology frame -
Automatic virtual metrology for wheel machining automation
Taylor & Francis Verlag | 2016|Schlagwörter: automatic virtual metrology (AVM) -
A virtual equipment as a test bench for evaluating virtual metrology algorithms
Freier ZugriffFraunhofer Publica | 2011|Schlagwörter: Virtual Metrology (VM) -
Cause analysis of the faults in HARC etching processes by using the PI‐VM model for OLED display manufacturing
Wiley | 2019|Schlagwörter: virtual metrology -
Evaluating the reliability level of virtual metrology results for flexible process control: a novelty detection-based approach
Online Contents | 2014|Schlagwörter: Virtual metrology -
True sparse PCA for reducing the number of essential sensors in virtual metrology
Taylor & Francis Verlag | 2024|Schlagwörter: Virtual metrology -
Double bagging trees with weighted sampling for predictive maintenance and management of etching equipment
Elsevier | 2024|Schlagwörter: Virtual metrology -
Analysis of risks and related damages due to the implementation of virtual metrology algorithms into semiconductor fabrication lines: Presentation held at APC Conference XXIV 2012, 10.09.2012 to 12.09.2012, Michigan
Freier ZugriffBASE | 2012|Schlagwörter: virtual metrology -
Decision-based virtual metrology for advanced process control to empower smart production and an empirical study for semiconductor manufacturing
Elsevier | 2022|Schlagwörter: Virtual metrology -
Improvement of virtual metrology performance by removing metrology noises in a training dataset
Online Contents | 2014|Schlagwörter: Virtual metrology -
Analysis of risks and related damages due to the implementation of virtual metrology algorithms into semiconductor fabrication lines: Presentation held at APC Conference XXIV 2012, 10.09.2012 to 12.09.2012, Michigan
Freier ZugriffFraunhofer Publica | 2012|Schlagwörter: virtual metrology
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