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Multiple-beam interference lithography with electron beam written gratings
American Institute of Physics | 2002|Schlagwörter: EUV LITHOGRAPHY -
Sub-70 nm extreme ultraviolet lithography at the Advanced Light Source static microfield exposure station using the engineering test stand set-2 optic
American Institute of Physics | 2002|Schlagwörter: EUV LITHOGRAPHY -
First lithographic results from the extreme ultraviolet Engineering Test Stand
American Institute of Physics | 2001|Schlagwörter: EUV LITHOGRAPHY -
Testing extreme ultraviolet optics with visible-light and extreme ultraviolet interferometry
American Institute of Physics | 2002|Schlagwörter: EUV LITHOGRAPHY -
Maskless extreme ultraviolet lithography
American Institute of Physics | 1999|Schlagwörter: EUV LITHOGRAPHY -
Particle-induced distortion in extreme ultraviolet lithography reticles during exposure chucking
American Institute of Physics | 2002|Schlagwörter: EUV LITHOGRAPHY -
Fabrication of parallel-plate nanomirror arrays for extreme ultraviolet maskless lithography
American Institute of Physics | 2001|Schlagwörter: EUV LITHOGRAPHY -
Ambient-Pressure X‑ray Photoelectron Spectroscopy Characterization of Radiation-Induced Chemistries of Organotin Clusters
American Chemical Society | 2019|Schlagwörter: EUV lithography -
Image formation in extreme ultraviolet lithography and numerical aperture effects
American Institute of Physics | 1999|Schlagwörter: EUV LITHOGRAPHY -
At-wavelength characterization of the extreme ultraviolet Engineering Test Stand Set-2 optic
American Institute of Physics | 2001|Schlagwörter: EUV LITHOGRAPHY -
Perspectives and tradeoffs of absorber materials for high NA EUV lithography
Freier ZugriffSPIE | 2020|Schlagwörter: high NA EUV lithography, EUV lithography -
EUCLIDES: European EUVL Program
American Institute of Physics | 1999|Schlagwörter: EUV LITHOGRAPHY -
Novel negative-tone molecular resist based on polyphenol derivative for extreme ultraviolet lithography
American Institute of Physics | 2008|Schlagwörter: EUV lithography -
Observation of speckle patterns in extreme ultraviolet imaging
American Institute of Physics | 2001|Schlagwörter: EUV LITHOGRAPHY -
Design and characterisation of an active mirror for EUV-lithography
Elsevier | 2015|Schlagwörter: EUV lithography -
Synchrotron light as a source for extreme ultraviolet lithography
American Institute of Physics | 1999|Schlagwörter: EUV LITHOGRAPHY -
Outgassing analysis of molecular glass photoresists under EUV irradiation
Online Contents | 2014|Schlagwörter: EUV lithography -
Extreme ultraviolet carrier-frequency shearing interferometry of a lithographic four-mirror optical system
American Institute of Physics | 2000|Schlagwörter: EXTREME ULTRAVIOLET (EUV) LITHOGRAPHY -
Recent status and future direction of EUV resist technology
Elsevier | 2008|Schlagwörter: EUV lithography -
Three-dimensional, time-dependent simulation of tapered EUV FELs with phase shifters
IOP Institute of Physics | 2024|Schlagwörter: EUV lithography
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