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Numerical analysis for resist profile after thermal process in display manufacturing [9051-63]
British Library Conference Proceedings | 2014|Beteiligte: Wallow, Thomas I. -
Modeling acid transport in chemically amplified resist films [9051-60]
British Library Conference Proceedings | 2014|Beteiligte: Wallow, Thomas I. -
Removal of highly crosslinked resists and hybrid polymers for single micro parts fabrication and nanoimprint stamp rework [9051-56]
British Library Conference Proceedings | 2014|Beteiligte: Wallow, Thomas I. -
High-volume manufacturing equipment and processing for directed self-assembly applications (Invited Paper) [9051-22]
British Library Conference Proceedings | 2014|Beteiligte: Wallow, Thomas I. -
Directed self-assembly process integration: Fin patterning approaches and challenges [9051-21]
British Library Conference Proceedings | 2014|Beteiligte: Wallow, Thomas I. -
Novel surface treatment materials for aligning block-co-polymer in directed self-assembly processes [9051-20]
British Library Conference Proceedings | 2014|Beteiligte: Wallow, Thomas I. -
Investigation of interactions between metrology and lithography with a CD SEM simulator [9051-8]
British Library Conference Proceedings | 2014|Beteiligte: Wallow, Thomas I. -
Development of novel protecting derivatives for chemically amplified extreme ultraviolet resist [9051-83]
British Library Conference Proceedings | 2014|Beteiligte: Wallow, Thomas I. -
Characterization of chemically amplified resists for electron beam lithography [9051-58]
British Library Conference Proceedings | 2014|Beteiligte: Wallow, Thomas I. -
Recent progress on multiple-patterning process [9051-33]
British Library Conference Proceedings | 2014|Beteiligte: Wallow, Thomas I. -
Methods of controlling cross-linking in negative-tone resists [9051-25]
British Library Conference Proceedings | 2014|Beteiligte: Wallow, Thomas I. -
Assessing SEM contour based OPC models quality using rigorous simulation [9051-9]
British Library Conference Proceedings | 2014|Beteiligte: Wallow, Thomas I. -
ArF photoresist polymers with nitrogen or sulfone moieties for negative tone development process [9051-82]
British Library Conference Proceedings | 2014|Beteiligte: Wallow, Thomas I. -
Novel polymeric sulfonium photoacid generator and its application for chemically amplified photoresists [9051-80]
British Library Conference Proceedings | 2014|Beteiligte: Wallow, Thomas I. -
Study of acid diffusion behaves form PAG by using top coat method [9051-67]
British Library Conference Proceedings | 2014|Beteiligte: Wallow, Thomas I. -
Spin-on organic hardmask for topo-patterned substrate [9051-41]
British Library Conference Proceedings | 2014|Beteiligte: Wallow, Thomas I. -
Novel and cost-effective multiple patterning technology by means of invisible SiO~xN~y hardmask [9051-34]
British Library Conference Proceedings | 2014|Beteiligte: Wallow, Thomas I. -
In-situ analysis of defect formation in coat develop track process [9051-24]
British Library Conference Proceedings | 2014|Beteiligte: Wallow, Thomas I. -
Process optimization of templated DSA flows [9051-17]
British Library Conference Proceedings | 2014|Beteiligte: Wallow, Thomas I. -
SEM simulation for 2D and 3D inspection metrology and defect review [9051-10]
British Library Conference Proceedings | 2014|Beteiligte: Wallow, Thomas I.
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