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Bestimmung der Materialfeuchte von Schüttgütern in Produktionsprozessen durch Kombination von direkten und indirekten Messverfahren. Schlussbericht des Projektteils: Materialfeuchtebestimmung von Schüttgütern durch Kombination der Thermogravimetrie mit dem Mikrowellenresonatorverfahren. Laufzeit des Vorhabens: 01.03.2006 bis 30.04.2011
Tema Archiv | 2011| -
Dosiskorrekturverfahren für die Elektronenstrahllithographie von Nano-Imprint Templates. Teilvorhaben. Verbundprojekt: FANTASTIC - Evaluierung der Nano-Imprint Technologie für die Herstellung von sub 35 nm IC. Schlussbericht gemäß Nr. 8.2 NKBF 98 zum Vorhaben. Laufzeit: 1.3.2007 - 30.09.2009
Tema Archiv | 2009
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