Erscheinungsjahr
Medientyp
Datenquelle
Format
Lizenz
Sprache
-
Effect of wafer temperature during plasma exposure on charging damage
British Library Conference Proceedings | 1996| -
Synchrotron radiation-induced surface-conductivity of SiO2 for modification of plasma charging
NationallizenzAmerican Institute of Physics | 2000| -
Factors Affecting Charging Damage during Plasma Etching
British Library Conference Proceedings | 1994| -
Oxide Damage from Plasma Charging: Breakdown Mechanism and Oxide Quality
British Library Online Contents | 1994| -
Model for oxide damage from gate charging during magnetron etching
British Library Online Contents | 1993| -
Horizontal unseeded vapor growth of Iv-Vi compounds and alloys
NationallizenzSpringer Verlag | 1974| -
Effect of plasma overetch of polysilicon on gate oxide damage
British Library Online Contents | 1995| -
Technology and Reliability Constrained Future Copper Interconnects-Part I: Resistance Modeling
British Library Online Contents | 2002| -
Quality Degradation for Gate Oxides Grown on Slightly Damaged Silicon Surfaces
British Library Conference Proceedings | 2001| -
Characterization of Plasma Surface Charging Using a Real-Time On-Wafer Probe
British Library Conference Proceedings | 1995| -
Characterization of Damage Reduction Effect from Dielectric Protective Layer by a Real-Time Plasma Charging Probe
British Library Conference Proceedings | 1996| -
The Effect of Ion Heating on the Angular Distributions in Plasma Etching Processes
British Library Conference Proceedings | 1994| -
Factors Affecting Charging Damage During Plasma Etching
British Library Conference Proceedings | 1994| -
Effect of Exposed Gate Oxide Edge on the Separation of Plasma Charging and Radiation-Induced Damage
British Library Conference Proceedings | 1994| -
Ion trajectory distortion and profile tilt by surface charging in plasma etching
British Library Online Contents | 1994| -
Notching as an example of charging in uniform high density plasmas
British Library Conference Proceedings | 1996| -
Modeling of Oxide Breakdown from Gate Charging During Resist Ashing
British Library Online Contents | 1994|
Meine Suche schicken an (beta)
Schicken Sie ihre Suchanfrage (Suchterm ohne Filter) an andere Datenbanken, Portale und Kataloge, um ggf. weitere interessante Treffer zu finden:
Dimensions ist eine Datenbank für Abstracts und Zitate, die Informationen zu Forschungsförderungen mit daraus resultierenden Veröffentlichungen, Studien und Patenten verknüpft.
Im TIB AV-Portal können audiovisuelle Medien aus Wissenschaft und Lehre recherchiert und eigene wissenschaftliche Videos publiziert werden.
Im FID move kann nach fachspezifischer Literatur, Forschungsdaten und weitere Informationen aus der Mobilitäts- und Verkehrsforschung gesucht werden.
Der Open Research Knowledge Graph liefert strukturiert beschriebene Forschungsinhalte und macht diese vergleichbar.
Frei zugänglicher Ausschnitt der Verbunddatenbank K10plus des GBV und des SWB mit für die Fernleihe und Direktlieferdienste relevanten Materialien.