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Synonyme wurden verwendet für: Elektronenstrahllithografie
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- e beam lithography
- electron beam lithography
- elektronenlithografie
- elektronenlithographie
- elektronenstrahllithographie
-
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Springer Verlag | 2023|Schlagwörter: electron beam lithography -
Process monitoring of electron-beam based writing of semiconductor mask patterns
Elsevier | 2022|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Review of metal-containing resists in electron beam lithography: perspectives for extreme ultraviolet patterning
Freier ZugriffSPIE | 2022|Schlagwörter: electron beam lithography -
Water developable non-chemically amplified photoresist for electron beam and extreme ultraviolet lithography
SPIE | 2022|Schlagwörter: e-beam lithography -
Sensitivity enhancement of a high-resolution negative-tone nonchemically amplified metal organic photoresist for extreme ultraviolet lithography
SPIE | 2022|Schlagwörter: electron beam lithography -
Straightforward fabrication of sub-10 nm nanogap electrode pairs by electron beam lithography
Elsevier | 2022|Schlagwörter: electron beam lithography -
Ultrasensitive metal-organic cluster resist for patterning of single exposure high numerical aperture extreme ultraviolet lithography applications
SPIE | 2022|Schlagwörter: electron beam lithography -
Controllable preparation of single-crystal diamond nanopillar clusters by metal cyclic dewetting process
Elsevier | 2022|Schlagwörter: Electron Beam Lithography -
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SPIE | 2021|Schlagwörter: electron beam lithography -
Stabilizing γ‐MgH2 at Nanotwins in Mechanically Constrained Nanoparticles
Wiley | 2021|Schlagwörter: electron beam lithography -
High-aspect nano-groove fabrication in thick film resists using 150-kV high acceleration voltage electron beam lithography
Elsevier | 2021|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Multi-beam mask writer exposure optimization for EUV mask stacks
SPIE | 2021|Schlagwörter: electron beam lithography -
Study of the Plasma Resistance of a High Resolution e-Beam Resist HSQ for Prototyping Nanoelectronic Devices
Springer Verlag | 2021|Schlagwörter: electron-beam lithography -
Exploring the foot-width limit of T-shaped gates using bilayer resist system RE650/UV5
SPIE | 2021|Schlagwörter: electron-beam lithography -
Electron Beam Lithography of Magnetic Skyrmions
Wiley | 2020|Schlagwörter: electron beam lithography -
High-fidelity fabrication of plasmonic nanoholes array via ion-beam planarization for extraordinary transmission applications
Elsevier | 2020|Schlagwörter: Electron-beam lithography -
The Effect of Temperature on the Development of a Contrast HSQ Electronic Resist
Springer Verlag | 2020|Schlagwörter: electron beam lithography -
Surface Micromachining—Advances and Advanced Characterization Techniques
Springer Verlag | 2020|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Method to fabricate taper waveguide using fixed-beam moving stage electron-beam lithography
SPIE | 2019|Schlagwörter: e-beam lithography -
Stitch aware detailed placement for multiple E-beam lithography
Elsevier | 2017|Schlagwörter: Multiple electron beam lithography
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