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Study of aging behaviour on 193nm phase-shift masks [10147-74]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Alignment solutions on FBEOL layers using ASML scanners [10147-65]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Resist 3D aware mask solution with ILT for hotspot repair [10147-25]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Enhanced OPC recipe coverage and early hotspot detection through automated layout generation and analysis [10147-26]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Ultra-low numerical aperture counter-propagating intracavity optical tweezers
British Library Conference Proceedings | 2023| -
Femtosecond inscription of a spectral array of four fiber Bragg gratings at the same spot, using a single uniform phase-mask
British Library Conference Proceedings | 2023| -
Electrical characterization of plasmonic nanopores excited with light
British Library Conference Proceedings | 2023| -
Fiber management for high-density connectivity In co-packaged switches
British Library Conference Proceedings | 2022| -
Inverse designed broadband on-chip photonic couplers and polarization-independent wavelength demultiplexing
British Library Conference Proceedings | 2022| -
Glass-molded optical interposers for wafer scale photonic integrated circuit packaging in 800G modules and co-packaged optics
British Library Conference Proceedings | 2022|
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