Erscheinungsjahr
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Copper Deposition and Subsequent Grain Structure Evolution in Narrow Lines
British Library Online Contents | 2003| -
Copper Deposition and Subsequent Grain Structure Evolution in Narrow Lines
British Library Conference Proceedings | 2003| -
Copper Deposition and Subsequent Grain Structure Evolution in Narrow Lines
NationallizenzTrans Tech Publications | 2003|Beteiligte: Vanstreels, K. -
A New Method for the Lifetime Determination of Submicron Metal Interconnects by Means of a Parallel Test Structure
British Library Conference Proceedings | 2004| -
A new method for the lifetime determination of submicron metal interconnects by means of a parallel test structure
British Library Online Contents | 2005| -
Aggressive Scaling of Cu/Low kappa: Impact on Metrology
British Library Conference Proceedings | 2005| -
Super Secondary Grain Growth in the Barrier/Seedlayer System
British Library Conference Proceedings | 2005| -
Influence of Grain Orientation on the Microstructural Characterization in Cu During (Self)-Anneal Using a Surface Acoustic Wave Technique
British Library Conference Proceedings | 2006| -
Super Secondary Grain Growth Initiation in Electroplated Copper
British Library Conference Proceedings | 2006| -
Electrical performance, reliability and microstructure of sub-45nm copper damascene lines fabricated with TEOS backfill
British Library Online Contents | 2007| -
Electrical performance, reliability and microstructure of sub-45nm copper damascene lines fabricated with TEOS backfill
British Library Conference Proceedings | 2007|
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