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Synonyme wurden verwendet für: Elektronenstrahllithografie
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Verwendete Synonyme:
- e beam lithography
- electron beam lithography
- elektronenlithografie
- elektronenlithographie
- elektronenstrahllithographie
-
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Online Contents | 2014|Schlagwörter: electron-beam lithography -
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SPIE | 2013|Schlagwörter: e-beam lithography -
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Elsevier | 2017|Schlagwörter: Multiple electron beam lithography -
Review of metal-containing resists in electron beam lithography: perspectives for extreme ultraviolet patterning
Freier ZugriffSPIE | 2022|Schlagwörter: electron beam lithography -
Study on physical model of resist surface charge in multi-beam mask writer and single variable-shaped beam writers
SPIE | 2021|Schlagwörter: electron beam lithography -
Water developable non-chemically amplified photoresist for electron beam and extreme ultraviolet lithography
SPIE | 2022|Schlagwörter: e-beam lithography -
Fabrication of self-aligned, nanoscale, complex oxide varactors
SPIE | 2015|Schlagwörter: e-beam lithography -
Cross Sections of Scattering Processes in Electron-Beam Lithography
Springer Verlag | 2023|Schlagwörter: electron beam lithography -
Formation of ferroelectic domain stuctures in LiTaO3 crystals formed by direct electron-beam repolarization
Springer Verlag | 2014|Schlagwörter: electron-beam lithography -
Two-Stage Layout Decomposition for Hybrid E-Beam and Triple Patterning Lithography
Online Contents | 2017|Schlagwörter: e-beam lithography -
Free-standingC 60nanowire fabricated usingXe F 2sacrificial dry etching
SPIE | 2009|Schlagwörter: electron beam lithography -
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Freier ZugriffSPIE | 2015|Schlagwörter: e-beam lithography -
Row-structure stencil planning approaches for E-beam lithography with overlapped characters
Elsevier | 2016|Schlagwörter: E-beam lithography -
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SPIE | 2016|Schlagwörter: e-beam lithography -
Electron-beam lithography with character projection technique for high-throughput exposure with line-edge quality control
SPIE | 2016|Schlagwörter: electron-beam lithography -
Subwavelength transmission gratings for polarization separation in the infrared
SPIE | 2016|Schlagwörter: electron beam lithography -
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Wiley | 2016|Schlagwörter: E‐beam lithography -
Nanofabrication and characterization of high-line-density x-ray transmission gratings
SPIE | 2017|Schlagwörter: electron beam lithography -
Bottom-up/top-down, high-resolution, high-throughput lithography using vertically assembled block bottle brush polymers
SPIE | 2013|Schlagwörter: electron beam lithography -
Fabrication of silicon submicrometer ribbons by glancing angle deposition
SPIE | 2005|Schlagwörter: electron beam lithography
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