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ToF-SIMS profiling of HfO2-Si stacks: influence of sputtering condition of profile shape
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TOF-SIMS as a rapid diagnostic tool to monitor the growth mode of thin (high k) films
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Nano-scale feature analysis achieving high effective lateral resolution with micro-scale material characterization techniques: Application to back-end processing
British Library Online Contents | 2015| -
Thin layer composition profiling with angular resolved x-ray photoemission spectroscopy: Factors affecting quantitative results
American Institute of Physics | 2012|
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