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Signal charged particle deflection device, signal charged particle detection system, charged particle beam device and method of detection of a signal charged particle beam
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2017| -
SIGNAL CHARGED PARTICLE DEFLECTION DEVICE, SIGNAL CHARGED PARTICLE DETECTION SYSTEM, CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND METHOD OF DETECTION OF A SIGNAL CHARGED PARTICLE BEAM
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2016| -
Methods of determining aberrations of a charged particle beam, and charged particle beam system
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2023| -
METHOD OF DETERMINING THE BEAM CONVERGENCE OF A FOCUSED CHARGED PARTICLE BEAM, AND CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEM
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2023| -
Method of determining the beam convergence of a focused charged particle beam, and charged particle beam system
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2023| -
METHOD OF DETERMINING THE BEAM CONVERGENCE OF A FOCUSED CHARGED PARTICLE BEAM, AND CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEM
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2023| -
SYSTEM FOR IMAGING A SECONDARY CHARGED PARTICLE BEAM WITH ADAPTIVE SECONDARY CHARGED PARTICLE OPTICS
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2017| -
System and method for imaging a secondary charged particle beam with adaptive secondary charged particle optics
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2018| -
METHOD OF DETERMINING A BRIGHTNESS OF A CHARGED PARTICLE BEAM, METHOD OF DETERMINING A SIZE OF A SOURCE OF THE CHARGED PARTICLE BEAM, AND CHARGED PARTICLE BEAM IMAGING DEVICE
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2024| -
METHODS OF DETERMINING ABERRATIONS OF A CHARGED PARTICLE BEAM, AND CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEM
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2023| -
METHOD OF DETERMINING A BRIGHTNESS OF A CHARGED PARTICLE BEAM METHOD OF DETERMINING A SIZE OF A SOURCE OF THE CHARGED PARTICLE BEAM AND CHARGED PARTICLE BEAM IMAGING DEVICE
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2024| -
METHODS OF DETERMINING ABERRATIONS OF A CHARGED PARTICLE BEAM, AND CHARGED PARTICLE BEAM SYSTEM
Freier ZugriffEuropäisches Patentamt | 2023|
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