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Synonyme wurden verwendet für: Elektronenstrahllithografie
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Verwendete Synonyme:
- e beam lithography
- electron beam lithography
- elektronenlithografie
- elektronenlithographie
- elektronenstrahllithographie
-
Einsatz der IPL für die Strukturierung magnetischer Speichermedien - Teilvorhaben Stencilmasken
Tema Archiv | 2002|Schlagwörter: Elektronenstrahllithographie -
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Tema Archiv | 1979|Schlagwörter: ELEKTRONENSTRAHLLITHOGRAPHIE -
Aufzeichnungen in einem Elektronenstrahlschreiber mit minimaler Koma
Tema Archiv | 1982|Schlagwörter: ELEKTRONENSTRAHLLITHOGRAPHIE -
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Tema Archiv | 1993Schlagwörter: Elektronenlithographie -
Laser-Muster-Generator. Etec verbessert die Laserstrahl-Technik
Tema Archiv | 1998Schlagwörter: Elektronenstrahllithographie -
Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
Tema Archiv | 2012|Schlagwörter: Elektronenstrahllithographie -
Einzelelektronentunneln. Teilprojekt: Einrichtung eines Elektronenstrahlschreibers für Linienbreiten unter 50 nm - Teil II
Tema Archiv | 2000|Schlagwörter: Elektronenstrahllithographie -
Schreibende Elektronenstrahlithographie mit Quasi-Shaped-Beam. Realisierung eines Verfahrens zur Steigerung der Schreibgeschwindigkeit
Tema Archiv | 1985|Schlagwörter: ELEKTRONENSTRAHLLITHOGRAPHIE -
Patterngeneration fuer Elektronenstrahllithographie mit Kompensationsbelichtung
Tema Archiv | 1984|Schlagwörter: ELEKTRONENSTRAHLLITHOGRAPHIE -
Neue Fotolithografie-Techniken fuer die Mikroelektronik
Tema Archiv | 1976Schlagwörter: ELEKTRONENSTRAHLLITHOGRAPHIE -
Herstellung von Volumenhologrammen über berechnete Strukturen. Abschlussbericht zum Teilvorhaben. Verbundprojekt: Verbesserte Herstellungstechniken für tageslichttaugliche Bildschirmhologramme (VHTB). Laufzeit des Projekts: 01.07.2008 bis 31.03.2012
Tema Archiv | 2012|Schlagwörter: Elektronenstrahllithographie -
Aubau und Erprobung eines Elektronenstrahl-Lithographie-Gerätes mit Feldemissionskathode und elektrostatischem Ablenker
Tema Archiv | 1991|Schlagwörter: ELEKTRONENSTRAHLLITHOGRAPHIE -
Einzelelektronentunneln: Mehrlagentechnologie für metallische Nanostrukturen -Bericht über das BMBF-Vorhaben 13N7168/0
Tema Archiv | 2000|Schlagwörter: Elektronenstrahllithographie -
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Tema Archiv | 2006Schlagwörter: Elektronenstrahllithographie -
Weitere Verkleinerung der Halbleiterstrukturen durch Elektronenstrahllithographie
Tema Archiv | 1987|Schlagwörter: ELEKTRONENSTRAHLLITHOGRAPHIE
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