Erscheinungsjahr
Fach
Format
Lizenz
Synonyme wurden verwendet für: Elektronenstrahllithografie
Suche ohne Synonyme: keywords:(Elektronenstrahllithografie)
Verwendete Synonyme:
- e beam lithography
- electron beam lithography
- elektronenlithografie
- elektronenlithographie
- elektronenstrahllithographie
-
Maskless lithography using low-energy electron beam: Recent results for proof-of-concept system
American Institute of Physics | 2002|Schlagwörter: ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY -
Calculation of surface potential and beam deflection due to charging effects in electron beam lithography
American Institute of Physics | 2000|Schlagwörter: ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY -
Scalable Silicon Nanostructuring for Thermoelectric Applications
Online Contents | 2013|Schlagwörter: e-beam lithography -
EB-X3: New electron-beam x-ray mask writer
American Institute of Physics | 1999|Schlagwörter: ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY -
Fabrication of Nanopillars on Nanocrystalline Diamond Membranes for the Incorporation of Color Centers
Wiley | 2019|Schlagwörter: electron beam lithography -
PREVAIL: Theory of the proof of concept column electron optics
American Institute of Physics | 1999|Schlagwörter: ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY -
Testing an electrostatic deflection innovation: Initial experimental results
American Institute of Physics | 2002|Schlagwörter: ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY -
Finite element analysis of SCALPEL wafer heating
American Institute of Physics | 1999|Schlagwörter: ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY -
CO2‐Based Dual‐Tone Resists for Electron Beam Lithography
Wiley | 2021|Schlagwörter: electron beam lithography -
Chemical Amplification of a Triphenylene Molecular Electron Beam Resist
Wiley | 2007|Schlagwörter: Electron‐beam lithography -
Electron Beam Lithography Nanopatterning of Plasma Polymers
Wiley | 2021|Schlagwörter: electron beam lithography -
Direct Surface Relief Formation in Polymer Films
NationallizenzTrans Tech Publications | 2013|Schlagwörter: Electron Beam Lithography -
3D Out‐of‐Plane Rotational Etching with Pinned Catalysts in Metal‐Assisted Chemical Etching of Silicon
Wiley | 2011|Schlagwörter: electron‐beam lithography -
High emittance source for the PREVAIL projection lithography system
American Institute of Physics | 1999|Schlagwörter: ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY -
Influence of the mask-scattered electrons in the cell-projection lithography
American Institute of Physics | 1999|Schlagwörter: ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY -
Contrast limitations in electron-beam lithography
American Institute of Physics | 1999|Schlagwörter: ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY -
PREVAIL: Dynamic correction of aberrations
American Institute of Physics | 2000|Schlagwörter: ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY -
Modifying Surface Chemistry of Metal Oxides for Boosting Dissolution Kinetics in Water by Liquid Cell Electron Microscopy
American Chemical Society | 2017|Schlagwörter: electron beam lithography -
PREVAIL: Operation of the electron optics proof-of-concept system
American Institute of Physics | 1999|Schlagwörter: ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY -
Fundamental performance of state-of-the-art proximity effect correction methods
American Institute of Physics | 1999|Schlagwörter: ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY
Meine Suche schicken an (beta)
Schicken Sie ihre Suchanfrage (Suchterm ohne Filter) an andere Datenbanken, Portale und Kataloge, um ggf. weitere interessante Treffer zu finden:
Dimensions ist eine Datenbank für Abstracts und Zitate, die Informationen zu Forschungsförderungen mit daraus resultierenden Veröffentlichungen, Studien und Patenten verknüpft.
Im TIB AV-Portal können audiovisuelle Medien aus Wissenschaft und Lehre recherchiert und eigene wissenschaftliche Videos publiziert werden.
Im FID move kann nach fachspezifischer Literatur, Forschungsdaten und weitere Informationen aus der Mobilitäts- und Verkehrsforschung gesucht werden.
Der Open Research Knowledge Graph liefert strukturiert beschriebene Forschungsinhalte und macht diese vergleichbar.
Frei zugänglicher Ausschnitt der Verbunddatenbank K10plus des GBV und des SWB mit für die Fernleihe und Direktlieferdienste relevanten Materialien.