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Frequency dependence of the electrical asymmetry effect in dual-frequency capacitively coupled discharges (4 pages)
British Library Online Contents | 2013| -
Control of the ion flux and ion energy in CCP discharges using non-sinusoidal voltage waveforms
British Library Online Contents | 2012| -
Ultraviolet cavity ring-down spectroscopy of free radicals in etching plasmas
Online Contents | 2000|
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