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Electron beam generated plasmas: Characteristics and etching of silicon nitride
Online Contents | 2017| -
Measurement of ion energy distributions using a combined energy and mass analyzer
Online Contents | 2007| -
On the extraction of positive and negative ions from electron-beam-generated plasmas
Online Contents | 2003| -
Extraction of positive and negative ions from electron-beam-generated plasmas
Online Contents | 2002| -
Symmetric extraction of positive and negative ions from electron beam-generated ion-ion plasmas
British Library Online Contents | 2009| -
Negative ion emission from a stainless steel surface due to positive ion collisions
Online Contents | 1998| -
A comparative study of dc biased RF impedance probes and Langmuir probes for the measurement of processing plasma parameters
British Library Online Contents | 2012|
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