Erscheinungsjahr
Medientyp
Fach
Format
Lizenz
Sprache
Synonyme wurden verwendet für: Elektronenstrahllithografie
Suche ohne Synonyme: keywords:("Elektronenstrahllithografie")
Verwendete Synonyme:
- e beam lithography
- electron beam lithography
- elektronenlithografie
- elektronenlithographie
- elektronenstrahllithographie
-
Electroplated high-aspect-ratio ferromagnetic nanopillars and their application to Ferromagnet-Superconductor Hybrids
Elsevier | 2017|Schlagwörter: Electron-Beam Lithography -
Optimization and characterization of Au cuboid nanostructures as a SERS device for sensing applications
Elsevier | 2012|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Extraction of the point-spread function in electron-beam lithography using a cross geometry
Elsevier | 2009|Schlagwörter: Electron-beam lithography -
2D plasmonic gold nano-patches for linear and nonlinear applications
Elsevier | 2013|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Fabrication of double split metallic nanorings for Raman sensing
Elsevier | 2009|Schlagwörter: Electron beam lithography -
PREVAIL: Theory of the proof of concept column electron optics
American Institute of Physics | 1999|Schlagwörter: ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY -
Finite element analysis of SCALPEL wafer heating
American Institute of Physics | 1999|Schlagwörter: ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY -
Testing an electrostatic deflection innovation: Initial experimental results
American Institute of Physics | 2002|Schlagwörter: ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY -
Single-spot e-beam lithography for defining large arrays of nano-holes
Elsevier | 2014|Schlagwörter: Electron beam lithography -
CO2‐Based Dual‐Tone Resists for Electron Beam Lithography
Wiley | 2021|Schlagwörter: electron beam lithography -
Silicon nanowires fabricated by means of an underetching technique
Elsevier | 2005|Schlagwörter: E-beam lithography -
Electron beam lithography and dimensional metrology for fin and nanowire devices on Ge, SiGe and GeOI substrates
Elsevier | 2023|Schlagwörter: electron beam lithography -
Chemical Amplification of a Triphenylene Molecular Electron Beam Resist
Wiley | 2007|Schlagwörter: Electron‐beam lithography -
3D Out‐of‐Plane Rotational Etching with Pinned Catalysts in Metal‐Assisted Chemical Etching of Silicon
Wiley | 2011|Schlagwörter: electron‐beam lithography -
High emittance source for the PREVAIL projection lithography system
American Institute of Physics | 1999|Schlagwörter: ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY -
Influence of the mask-scattered electrons in the cell-projection lithography
American Institute of Physics | 1999|Schlagwörter: ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY -
SiO2 shallow nanostructures ICP etching using ZEP electroresist
Elsevier | 2011|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Contrast limitations in electron-beam lithography
American Institute of Physics | 1999|Schlagwörter: ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY -
PREVAIL: Dynamic correction of aberrations
American Institute of Physics | 2000|Schlagwörter: ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY -
Hough Transform as a quality test tool for electron beam lithography
Elsevier | 2017|Schlagwörter: Electron beam lithography
Meine Suche schicken an (beta)
Schicken Sie ihre Suchanfrage (Suchterm ohne Filter) an andere Datenbanken, Portale und Kataloge, um ggf. weitere interessante Treffer zu finden:
Dimensions ist eine Datenbank für Abstracts und Zitate, die Informationen zu Forschungsförderungen mit daraus resultierenden Veröffentlichungen, Studien und Patenten verknüpft.
Im TIB AV-Portal können audiovisuelle Medien aus Wissenschaft und Lehre recherchiert und eigene wissenschaftliche Videos publiziert werden.
Im FID move kann nach fachspezifischer Literatur, Forschungsdaten und weitere Informationen aus der Mobilitäts- und Verkehrsforschung gesucht werden.
Der Open Research Knowledge Graph liefert strukturiert beschriebene Forschungsinhalte und macht diese vergleichbar.
Frei zugänglicher Ausschnitt der Verbunddatenbank K10plus des GBV und des SWB mit für die Fernleihe und Direktlieferdienste relevanten Materialien.