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Synonyme wurden verwendet für: Trockenätzen
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Verwendete Synonyme:
- dry etching
- gasatzen
-
Dry Etching Processes and Equipment
Wiley | 2018|Schlagwörter: dry etching modes, dry etching process, dry etching equipment -
A review of polymethyl methacrylate (PMMA) as a versatile lithographic resist – With emphasis on UV exposure
Elsevier | 2020|Schlagwörter: Dry etching -
Fabrication and characterization of gold coated hollow silicon microneedle array for drug delivery
Elsevier | 2014|Schlagwörter: Dry etching -
Dry etching characteristics of GaN for blue/green light-emitting diode fabrication
Elsevier | 2009|Schlagwörter: Dry etching -
Fabrication of narrow-gap nanostructures using electron-beam induced deposition etch masks
Elsevier | 2016|Schlagwörter: Dry etching -
An anisotropic dry etch process with fluorine chemistry to create well-defined titanium surfaces for biomedical studies
Elsevier | 2012|Schlagwörter: Dry etching -
Plasma etched c-Si wafer with proper pyramid-like nanostructures for photovoltaic applications
Elsevier | 2018|Schlagwörter: Dry etching -
Removal of Dry-Etch-Induced Surface Layer Damage from p-GaN by Photoelectrochemical Etching
Online Contents | 2020|Schlagwörter: dry etching -
Computational characterization of capacitive coupled HBr/Cl2/O2 plasma
Wiley | 2022|Schlagwörter: dry etching -
Dry etching of bulk single-crystal ZnO in CH4/H2-based plasma chemistries
Elsevier | 2006|Schlagwörter: Dry etching -
Greatly enhanced performance of InGaN/GaN nanorod light emitting diodes
Wiley | 2012|Schlagwörter: dry‐etching -
Rapid Engraving of Artificial Compound Eyes from Curved Sapphire Substrate
Wiley | 2019|Schlagwörter: dry etching -
Fabrication of Differently Shaped Polymeric Nanoneedle Arrays via Multistep Plasma Etching Using Silica Microparticles as Masks
Wiley | 2021|Schlagwörter: Dry etching -
Comparative study on dry etching of α- and β-SiC nano-pillars
Elsevier | 2012|Schlagwörter: Dry etching -
Dry photolithography through ultraviolet radiation-induced photo-etching of polymethyl methacrylate
Elsevier | 2016|Schlagwörter: Dry etching -
Properties of atmospheric‑hydrogen-plasma-treated CH3NH3PbI3 perovskite films
Elsevier | 2017|Schlagwörter: Dry etching -
Dry etching of germanium using inductively coupled Ar/$ CCl_{2} %$ F_{2} $/$ Cl_{2} $ plasma
Online Contents | 2010|Schlagwörter: dry etching -
Research on TSV Dry Etching Technology
NationallizenzTrans Tech Publications | 2015|Schlagwörter: Dry Etching
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