Erscheinungsjahr
Fach
Format
Lizenz
Synonyme wurden verwendet für: Elektronenstrahllithografie
Suche ohne Synonyme: keywords:("Elektronenstrahllithografie")
Verwendete Synonyme:
- e beam lithography
- electron beam lithography
- elektronenlithografie
- elektronenlithographie
- elektronenstrahllithographie
-
Stooped Nanohairs: Geometry‐Controllable, Unidirectional, Reversible, and Robust Gecko‐like Dry Adhesive
Wiley | 2009|Schlagwörter: Electron‐beam lithography -
Patterning Magnetic Regions in Hydrogenated Graphene Via E‐Beam Irradiation
Wiley | 2015|Schlagwörter: e‐beam lithography -
Electron Beam Lithography of Magnetic Skyrmions
Wiley | 2020|Schlagwörter: electron beam lithography -
Electron Beam Projection Nanopatterning Using Crystal Lattice Images Obtained from High Resolution Transmission Electron Microscopy
Wiley | 2007|Schlagwörter: Electron‐beam lithography -
Guided Formation of a Sub‐10 nm Silicide Dot Array on an Area Patterned by Electron‐Beam Lithography
Wiley | 2007|Schlagwörter: Electron‐beam lithography -
Controlling gold nanoparticle assembly on electron beam-reduced nitrophenyl self-assembled monolayers via electron dose
Elsevier | 2013|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Fabrication and Structural Evaluation of Beaded Inorganic Nanostructures Using Soft‐Electron‐Beam Lithography
Wiley | 2007|Schlagwörter: Electron‐beam lithography -
Electron beam patterned Nafion membranes for DMFC applications
Elsevier | 2012|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Direct growth of sub-micron diamond structures
Elsevier | 2011|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Process monitoring of electron-beam based writing of semiconductor mask patterns
Elsevier | 2022|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Fabrication of soft x-ray zone plates using carbon, titanium as sacrificial layer
Elsevier | 2016|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Fabrication of sub-100nm IDT SAW devices on insulating, semiconducting and conductive substrates
Elsevier | 2011|Schlagwörter: E-beam lithography -
Micro-contacted self-assembled tungsten oxide nanorods for hydrogen gas sensing
Elsevier | 2016|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Polymeric Nanohairs: Stooped Nanohairs: Geometry‐Controllable, Unidirectional, Reversible, and Robust Gecko‐like Dry Adhesive (Adv. Mater. 22/2009)
Wiley | 2009|Schlagwörter: Electron‐beam lithography -
Absolute two-dimensional sub-micron metrology for electron beam lithography
A calibration theory with applicationsElsevier | 1985|Schlagwörter: electron beam lithography -
Rapid Fabrication of Uniformly Sized Nanopores and Nanopore Arrays for Parallel DNA Analysis
Wiley | 2006|Schlagwörter: Electron‐beam lithography -
Atomic layer deposition of TiN for the fabrication of nanomechanical resonators
American Institute of Physics | 2013|Schlagwörter: electron beam lithography -
High-fidelity fabrication of plasmonic nanoholes array via ion-beam planarization for extraordinary transmission applications
Elsevier | 2020|Schlagwörter: Electron-beam lithography -
Combinatorial Optimization of a Molecular Glass Photoresist System for Electron Beam Lithography
Wiley | 2011|Schlagwörter: electron beam lithography -
Full‐Thickness Characterization of Plasma Polymerized Hexane Films Irradiated by an Electron Beam
Wiley | 2012|Schlagwörter: electron beam lithography -
Dopant based electron beam lithography in CuxTiSe2
Elsevier | 2010|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Interactions of Serum Derived Proteins with Sub‐Micrometer Structured Surfaces
Wiley | 2014|Schlagwörter: electron beam lithography -
Numerical simulation of hollow waveguide arrays as polarization converting elements and experimental verification
Online Contents | 2017|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Unveiling Active Sites for the Hydrogen Evolution Reaction on Monolayer MoS2
Wiley | 2017|Schlagwörter: e‐beam lithography -
3D Nanostar Dimers with a Sub‐10‐nm Gap for Single‐/Few‐Molecule Surface‐Enhanced Raman Scattering
Wiley | 2014|Schlagwörter: electron‐beam lithography -
e‐Beam Nanopatterned Photo‐Responsive Bacteriorhodopsin‐Containing Hydrogels
Wiley | 2007|Schlagwörter: Electron‐beam lithography -
Surface morphology and structural analysis of fluorocarbon nano-rings formation through EBL and SiO2 plasma etching
Elsevier | 2011|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Direct Nanopatterning of 3D Chemically Active Structures for Biological Applications
Wiley | 2007|Schlagwörter: Electron‐beam lithography -
Stabilizing γ‐MgH2 at Nanotwins in Mechanically Constrained Nanoparticles
Wiley | 2021|Schlagwörter: electron beam lithography -
Technischer Kurzbericht zum MNPQ-Projekt "Modellierungsinfrastruktur für die qualitative Verbesserung der Ergebnisse ultrapräziser Elektronenlithographie-Anlagen bei Strukturgrößen von 22 nm und darunter" : (Kurzname ModELitho)
TIBKAT | 2011|Schlagwörter: Elektronenstrahllithografie -
Fabrication and performance evaluation of an in-membrane micro-fuel cell
Elsevier | 2013|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Fabrication of high quality two-dimensional photonic crystal mask layer patterns
Online Contents | 2009|Schlagwörter: Electron beam lithography -
A micro-spectroscopy study on the influence of chemical residues from nanofabrication on the nitridation chemistry of Al nanopatterns
Elsevier | 2012|Schlagwörter: e-Beam lithography -
Technischer Kurzbericht zum MNPQ-Projekt "Modellierungsinfrastruktur für die qualitative Verbesserung der Ergebnisse ultrapräziser Elektronenlithographie-Anlagen bei Strukturgrößen von 22 nm und darunter" : (Kurzname ModELitho)
Freier ZugriffTIBKAT | 2011|Schlagwörter: Elektronenstrahllithografie -
High resolution thermoplastic rapid manufacturing using injection moulding with SU-8 based silicon tools
Elsevier | 2011|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Electron-beam fabrication of analog-relief diffractive optics of non-flat substrates at Jet Propulsion Laboratory
NTRS | 2002|Schlagwörter: electron-beam lithography diffractive optics -
High-aspect nano-groove fabrication in thick film resists using 150-kV high acceleration voltage electron beam lithography
Elsevier | 2021|Schlagwörter: Electron beam lithography -
The state of the art in the electron beam manufacturing processes
Online Contents | 2016|Schlagwörter: Electron beam lithography (EBL) -
Subwavelength gratings fabricated on semiconductor substrates via E-beam lithography and lift-off method
Online Contents | 2005|Schlagwörter: E-beam lithography -
Tailored Star Block Copolymer Architecture for High Performance Chemically Amplified Resists
Wiley | 2012|Schlagwörter: electron‐beam lithography -
Exploring electron beam induced surface activation for the fabrication of well-defined nanostructures : on the role of catalytic processes, substrates and precursors
TIBKAT | 2015|Schlagwörter: Elektronenstrahllithografie -
New Convex Grating Types Manufactured by Electron Beam Lithography
NTRS | 1998|Schlagwörter: electron beam lithography high-performance blazed gratings -
Plasmonic Nanostructures: 3D Nanostar Dimers with a Sub‐10‐nm Gap for Single‐/Few‐Molecule Surface‐Enhanced Raman Scattering (Adv. Mater. 15/2014)
Wiley | 2014|Schlagwörter: electron‐beam lithography -
Straightforward fabrication of sub-10 nm nanogap electrode pairs by electron beam lithography
Elsevier | 2022|Schlagwörter: electron beam lithography -
Surface roughness of hydrogen silsesquioxane as a negative tone electron beam resist
Elsevier | 2004|Schlagwörter: Electron beam lithography -
The fabrication of 3-D nanostructures by a low- voltage EBL
Elsevier | 2010|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Submicrometer Functionalization of Porous Silicon by Electron Beam Lithography
Wiley | 2003|Schlagwörter: Electron beam lithography, of porous silicon -
Projekt: Photonische Nanomaterialien : Kurzname: PhoNa : Abschlussbericht : Laufzeit: 01.12.2009-30.11.2014
TIBKAT | 2015|Schlagwörter: Elektronenstrahllithografie -
TPI: Photonmanagement mit photonischen Nanomaterialien in optoelektronischen Systemen sowie Effizienzsteigerung photovoltaischer Elemente mit nanostrukturierten photonischen Materialien, TPII: Verstärkung der Raman-Streuung von in detergenz solubilisierten optisch aktiven Membranproteinen durch photonische Nanomaterialien und deren Anwendung in Einzelmolekülstudien : Schlussbericht : Berichtszeitraum: 1.12.2009-30.11.2014
TIBKAT | 2015|Schlagwörter: Elektronenstrahllithografie -
Entwicklung und Untersuchung eines Feldemitter-Kathodenarray mit einzeln adressierbaren, im fokussierten Elektronenstrahl direkt abgeschiedenen Emissionsspitzen
TIBKAT | 2006|Schlagwörter: Elektronenstrahllithografie
Meine Suche schicken an (beta)
Schicken Sie ihre Suchanfrage (Suchterm ohne Filter) an andere Datenbanken, Portale und Kataloge, um ggf. weitere interessante Treffer zu finden:
Dimensions ist eine Datenbank für Abstracts und Zitate, die Informationen zu Forschungsförderungen mit daraus resultierenden Veröffentlichungen, Studien und Patenten verknüpft.
Im TIB AV-Portal können audiovisuelle Medien aus Wissenschaft und Lehre recherchiert und eigene wissenschaftliche Videos publiziert werden.
Im FID move kann nach fachspezifischer Literatur, Forschungsdaten und weitere Informationen aus der Mobilitäts- und Verkehrsforschung gesucht werden.
Der Open Research Knowledge Graph liefert strukturiert beschriebene Forschungsinhalte und macht diese vergleichbar.
Frei zugänglicher Ausschnitt der Verbunddatenbank K10plus des GBV und des SWB mit für die Fernleihe und Direktlieferdienste relevanten Materialien.