Prüfung und Bewertung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik ([my]geoMess) : Teilvorhaben: Vorentwicklung und Optimierung eines Mikrotasters ([my]Tast) ; Schlussbericht zum Vorhaben ; Berichtszeitraum: 01.01.2005 bis 30.06.2008 (Deutsch)
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Titel:Prüfung und Bewertung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik ([my]geoMess) : Teilvorhaben: Vorentwicklung und Optimierung eines Mikrotasters ([my]Tast) ; Schlussbericht zum Vorhaben ; Berichtszeitraum: 01.01.2005 bis 30.06.2008
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Weitere Titelangaben:Testing and evaluation of geometric features in Microtechnology - [my]geoMess - subproject: Predevelopement and optimisation of a micro tactile probe ([my]Tast)
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Beteiligte:
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Erscheinungsort:Braunschweig
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Erscheinungsdatum:2008
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Format / Umfang:Online-Ressource (64 S., 24,9 MB)
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Anmerkungen:Ill., graph. Darst.
Förderkennzeichen BMBF 16SV1944. - Verbund-Nr. 01034368. - [Engl. T.: Testing and evaluation of geometric features in Microtechnology - [my]geoMess - subproject: Predevelopement and optimisation of a micro tactile probe ([my]Tast)]
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Langzeitarchivierung durch Technische Informationsbibliothek (TIB) / Leibniz-Informationszentrum Technik und Naturwissenschaften und Universitätsbibliothek -
DOI:
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Medientyp:Report
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Deutsch
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Reportnr. / Förderkennzeichen:
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