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Overlay statistics for multiple exposure patterning [10147-37]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Immersion lithography scanner resolution performance demonstration on 450mm substrates [10147-46]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Novel methodology to optimize wafer alignment to enhance 14nm on product overlay [10147-66]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Addressing optical proximity correction challenges from highly nonlinear models [10147-64]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Experimental verification of on-product overlay improvement by intra-lot overlay control using metrology based grouping [10147-38]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Optimal structure sampling for etch model calibration [10147-17]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Accurate characterization of 2D etch bias by capturing surrounding effects from resist and trench areas [10147-34]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
FinFET-induced anisotropy in printing of implantation shapes [10147-40]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
EAC power distribution line cable monitoring using state-of-the-art distributed sensing instruments
British Library Conference Proceedings | 2023| -
Temporal behavior and processing of the LiDAR signal in fog
British Library Conference Proceedings | 2023| -
Infrared characterization of spike protein of MERS-CoV, SARS-CoV, SARS-CoV-2 and its variants: first steps toward an optical biosensing device
British Library Conference Proceedings | 2023| -
High density vertical optical interconnects for passive assembly
British Library Conference Proceedings | 2023| -
Lithography and OPC friendly triple patterning decomposition method for VIA [10147-55]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
450mm lithography status for high volume manufacturing [10147-11]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Process margin improvement through finger-print removal based on scanner leveling data [10147-8]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Development of the next-generation ArF excimer laser with ultra-narrow stable spectral bandwidth for multiple patterning immersion lithography [10147-59]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
High-density passive multi-fiber assembly to single-mode polymer waveguides using embedded v-grooves for co-packaged optics
British Library Conference Proceedings | 2022| -
All-fiber time-delay spectrometer based on an array of fiber Bragg gratings [8924-114]
British Library Conference Proceedings | 2013| -
An interrogation system based on two semiconductor optical amplifiers for weak fiber Bragg gratings [8924-30]
British Library Conference Proceedings | 2013| -
Optimization of plasmonic sensors in visible and infrared regime (Invited Paper) [8924-201]
British Library Conference Proceedings | 2013|
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