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Application of optical similarity in OPC model calibration [10147-62]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Layout independent leveling (LIL) on NXT:1980Di immersion scanners for enhanced productivity [10147-45]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Reducing the impact of etch-induced pattern shift on overlay by using lithography and etch tool corrections [10147-16]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Compact modeling for the negative tone development processes [10147-63]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Nanocrystalline ceramic coatings for the capillary fiber lasers
British Library Conference Proceedings | 2023| -
Distributed acoustic sensing over available fiber networks: what can available fiber infrastructure tell us about our planet?
British Library Conference Proceedings | 2023| -
New design and improvements of an MR-compatible respiratory fiber-optic sensor
British Library Conference Proceedings | 2023| -
Low cutoff optical fiber and cable slack management scheme for co-packaged optics in the O-band
British Library Conference Proceedings | 2023| -
A 4×4 Si3N4 generalized Mach-Zehnder interferometer for variable power splitting applications
British Library Conference Proceedings | 2023| -
A silicon-photonics optical transmitter for 12-port 1.6 Tbps co-packaged optics modules
British Library Conference Proceedings | 2023| -
Reticle heating feed-forward control (RHC2) on NXT:1980Di immersion scanner for enhanced on-product overlay [10147-42]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Scanner-to-scanner CD analysis and control in an HVM environment [10147-9]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Effective use of aerial image metrology for calibration of OPC models [10147-33]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
A physical model for innovative laser direct write lithography [10147-28]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
The ultra-violet partial coherence modulation transfer function for lithography [10147-57]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Experimental characterization of NTD resist shrinkage [10147-14]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Optimal structure sampling for etch model calibration [10147-17]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Accurate characterization of 2D etch bias by capturing surrounding effects from resist and trench areas [10147-34]
British Library Conference Proceedings | 2017
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