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Robust sub-50-nm CD control by a fast-goniometric scatterometry technique [6518-119]
British Library Conference Proceedings | 2007| -
Electrochemical insertion of lithium in catalytic multi-walled carbon nanotubes
British Library Conference Proceedings | 1999|Beteiligte: Irvine, J. T. S. -
Improved CD and overlay metrology using an optical Fourier transform instrument [5752-41]
British Library Conference Proceedings | 2005| -
Innovative rapid photogoniometry method for CD metrology [5375-166]
British Library Conference Proceedings | 2004| -
Lessons learned and best practices derived from environmental monitoring at a large-scale CO2 injection project
British Library Online Contents | 2018| -
A new analysis strategy for CD metrology using rapid photo goniometry method [5375-20]
British Library Conference Proceedings | 2004| -
Optical Fourier transform scatterometry for LER and LWR metrology [5752-21]
British Library Conference Proceedings | 2005| -
Ultra-thin oxides grown on silicon (1 0 0) by rapid thermal oxidation for CMOS and advanced devices
British Library Conference Proceedings | 2001| -
Evaluation of Adhesion of Thin Films of Si~3N~4 and SiO~2 to Si by the Scratch Method
British Library Conference Proceedings | 1995|Beteiligte: Troczynski, T. -
Plasma Sprayed Electrical Conductive Coating on C.F.R.P. Materials: Microstructure and Electrical Properties
British Library Conference Proceedings | 1998|Beteiligte: Sudarshan, T. S. -
Ultra-thin oxides grown on silicon (1 0 0) by rapid thermal oxidation for CMOS and advanced devices
Online Contents | 2001|Beteiligte: Leroux, Ch, Baron, T. -
Ultra-thin oxides grown on silicon (1 0 0) by rapid thermal oxidation for CMOS and advanced devices
Online Contents | 2001|Beteiligte: Leroux, Ch, Baron, T.
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