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Combined metrology including VUV spectroscopic ellipsometer and grazing x-ray reflectance for precise characterization of thin films and multilayers at 157 nm [4449-06]
British Library Conference Proceedings | 2001| -
41.4: New Strategy for Characterization of Multi-view Auto-stereoscopic Displays using Fourier Optics Viewing Angle Instrument
British Library Conference Proceedings | 2014| -
New purged UV spectroscopic ellipsometer to characterize thin films and multilayers at 157 nm [4099-25]
British Library Conference Proceedings | 2000| -
Feasibility and applicability of integrated metrology using spectroscopic ellipsometry in a cluster tool [4449-10]
British Library Conference Proceedings | 2001| -
IR spectroscopic ellipsometry for industrial characterization of semiconductors [4449-09]
British Library Conference Proceedings | 2001|
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