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XLA-300: the fourth-generation ArF MOPA light source for immersion lithography [6154-76]
British Library Conference Proceedings | 2006| -
What determines the ultimate resolution? the critical relationship between exposure tools and photoresists [6154-74]
British Library Conference Proceedings | 2006| -
Watermark defect formation and removal for immersion lithography [6154-44]
British Library Conference Proceedings | 2006| -
Wafer management between coat/developer track and immersion lithography tool [6154-177]
British Library Conference Proceedings | 2006| -
Verifying high NA polarization OPC treatment on wafer [6154-133]
British Library Conference Proceedings | 2006| -
Verification of optical proximity effect in immersion lithography [6154-176]
British Library Conference Proceedings | 2006| -
Validity of the Hopkins approximation in simulations of hyper NA (NA>1) line-space structures for an attenuated PSM mask [6154-16]
British Library Conference Proceedings | 2006| -
Using reconfigurable OPC to improve quality and throughput of sub-100nm IC manufacturing [6154-131]
British Library Conference Proceedings | 2006| -
Three-dimensional imaging of 30-nm nanospheres using immersion interferometric lithography [6154-178]
British Library Conference Proceedings | 2006| -
The optics of photomasks: from shadowy past to scattered future (Invited Paper) [6154-02]
British Library Conference Proceedings | 2006|
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