Diffusion-controlled growth of Cu thin films electrodeposited directly on atomic-layer-deposited WC diffusion barrier for Cu interconnect (Englisch)
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In:
Microelectronic Engineering
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248
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2021
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ISSN:
- Aufsatz (Zeitschrift) / Elektronische Ressource
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Titel:Diffusion-controlled growth of Cu thin films electrodeposited directly on atomic-layer-deposited WC diffusion barrier for Cu interconnect
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Beteiligte:
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Erschienen in:
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Verlag:
- Neue Suche nach: Elsevier B.V.
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Erscheinungsdatum:05.08.2021
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ISSN:
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DOI:
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Medientyp:Aufsatz (Zeitschrift)
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Englisch
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Schlagwörter:
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Datenquelle:
Inhaltsverzeichnis – Band 248
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