Formation of silicon carbide in silicon substrates during CF4/H2 dry etching (Englisch)
Nationallizenz
- Neue Suche nach: Coyle, George J. Jr.
- Neue Suche nach: Oehrlein, Gottlieb S.
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- Neue Suche nach: Oehrlein, Gottlieb S.
In:
Applied Surface Science
;
25
, 4
;
423-434
;
1985
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ISSN:
- Aufsatz (Zeitschrift) / Elektronische Ressource
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Titel:Formation of silicon carbide in silicon substrates during CF4/H2 dry etching
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Beteiligte:Coyle, George J. Jr. ( Autor:in ) / Oehrlein, Gottlieb S. ( Autor:in )
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Erschienen in:Applied Surface Science ; 25, 4 ; 423-434
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Verlag:
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Erscheinungsdatum:07.10.1985
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Format / Umfang:12 pages
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ISSN:
-
DOI:
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Medientyp:Aufsatz (Zeitschrift)
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Englisch
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Datenquelle:
Inhaltsverzeichnis – Band 25, Ausgabe 4
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ForewordGrant, J.T. / Murday, J.S. et al. | 1986
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Quantitative analysis of mixtures by Auger electron spectroscopyTurner, N.H. / Lee, W.W. et al. | 1985
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Low work function emitter electrodes for advanced thermionic convertersDavis, P.R. / Schwind, G.A. et al. | 1985
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In situ auger electron spectroscopy applied to the study of chemisorption and diffusion during reactive implantation of titanium into ironBaldwin, D.A. / Sartwell, B.D. / Singer, I.L. et al. | 1985
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Stoichiometric changes in the surface of (100) cubic SiC caused by ion bombardment and annealingBellina, J.J. Jr. / Zeller, M.V. et al. | 1985
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A SIMS study of ion beam induced migration of nitrogen in thermally oxidized siliconSchwarz, S.A. et al. | 1985
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Material displacing processes and surface textureZipin, Richard B. et al. | 1985
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Formation of silicon carbide in silicon substrates during CF4/H2 dry etchingCoyle, George J. Jr. / Oehrlein, Gottlieb S. et al. | 1985
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Special techniques for the Auger analysis of microelectronic devicesLeung, M.S. / Stupian, G.W. et al. | 1985
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Using angle resolved ESCA to characterize Winchester disksMoulder, J.F. / Hammond, J.S. / Smith, K.L. et al. | 1985
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An evaluation of the bremsstrahlung contribution to specimen damage in XPS using Auger peak intensitiesKoenig, M.F. / Grant, J.T. et al. | 1986
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Author index| 1986
- 473
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Subject index| 1986