FEATURED - Advanced technology for lowk1 optical lithography (Unbekannt)
- Neue Suche nach: Wagner, Christian
- Neue Suche nach: Wagner, Christian
- Neue Suche nach: Kaiser, Winfried
- Neue Suche nach: Mulkens, Jan
- Neue Suche nach: Flagello, Donis G.
In:
Microlithography world
;
9
, 4
; 7-14
;
2000
-
ISSN:
- Aufsatz (Zeitschrift) / Print
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Titel:FEATURED - Advanced technology for lowk1 optical lithography
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Beteiligte:
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Erschienen in:Microlithography world ; 9, 4 ; 7-14
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Verlag:
- Neue Suche nach: PennWell Publ. Co.
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Erscheinungsort:Tulsa, Okla.
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Erscheinungsdatum:2000
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ISSN:
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ZDBID:
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Medientyp:Aufsatz (Zeitschrift)
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Format:Print
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Sprache:Unbekannt
- Neue Suche nach: 58.00
- Weitere Informationen zu Basisklassifikation
-
Klassifikation:
BKL: 58.00 -
Datenquelle:
Inhaltsverzeichnis – Band 9, Ausgabe 4
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Advanced technology for low-k1 optical lithographyWagner, C. / Kaiser, W. / Mulkens, J. / Flagello, D.G. et al. | 2000
- 7
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FEATURED - Advanced technology for lowk1 optical lithographyWagner, Christian et al. | 2000
- 15
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Resist stripping for Cu/SiLK dual damascene structuresLouis, D. / Arvet, C. / Lajoinie, E. / Peyne, C. / Lee, S. / Berry, I. / Han, Q. et al. | 2000
- 15
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FEATURED - Resist stripping for CU-SiLK dual damascene structuresLouis, D. et al. | 2000
- 20
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FEATURED - Researching photoresist materials for F2 (157nm) and EUV (13nm)Matsuzawa, Nobuyuki N. et al. | 2000
- 25
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FEATURED - The Lithography Expert: Line end shortening: Part 2Mack, Chris A. et al. | 2000
- 27
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FEATURED - The Metrology Mentor: The economics of lot dispositioningPellegrini, Joseph et al. | 2000
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DEPARTMENTS - News & Products| 2000
- 31
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DEPARTMENTS - Shows-SPIE Activities| 2000
- 31
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DEPARTMENTS - Advertiser Index| 2000
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EDITORIAL - Sardines unitelLevenson, M.David et al. | 2000