Physical characterization of nanoimprinted polymer nanostructures using visible light angular scatterometry (Unbekannt)
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In:
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS and MOEMS
;
7
, 1
;
013008
;
2008
- Aufsatz (Zeitschrift) / Elektronische Ressource
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Titel:Physical characterization of nanoimprinted polymer nanostructures using visible light angular scatterometry
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Weitere Titelangaben:J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS
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Beteiligte:
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Erschienen in:Journal of Micro/Nanolithography, MEMS and MOEMS ; 7, 1 ; 013008
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Verlag:
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Erscheinungsdatum:18.03.2008
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ISSN:
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Coden:
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DOI:
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Medientyp:Aufsatz (Zeitschrift)
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Unbekannt
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Schlagwörter:
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Datenquelle:
Inhaltsverzeichnis – Band 7, Ausgabe 1
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