Conditions for thermal nitridation of Si in N2-O2 mixtures (Englisch)
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In:
Journal of the Electrochemical Society
;
135
, 11
;
2803-2807
;
1988
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ISSN:
- Aufsatz (Zeitschrift) / Print
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Titel:Conditions for thermal nitridation of Si in N2-O2 mixtures
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Weitere Titelangaben:Bedingungen thermischer Si-Nitridierung in N2-O2 Mischungen
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Beteiligte:Giridhar, R.V. ( Autor:in ) / Rose, K. ( Autor:in )
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Erschienen in:Journal of the Electrochemical Society ; 135, 11 ; 2803-2807
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Verlag:
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Erscheinungsdatum:1988
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Format / Umfang:5 Seiten, 4 Bilder, 23 Quellen
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ISSN:
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DOI:
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Medientyp:Aufsatz (Zeitschrift)
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Format:Print
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Sprache:Englisch
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Schlagwörter:
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Datenquelle:
Inhaltsverzeichnis – Band 135, Ausgabe 11
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