Einfluß der relativen Luftfeuchte auf die Stabilitätskennwerte piezoresistiver Miniaturdrucksensoren (Deutsch)
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In:
VDI-Bericht
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173-178
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1992
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ISBN:
- Aufsatz (Konferenz) / Print
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Titel:Einfluß der relativen Luftfeuchte auf die Stabilitätskennwerte piezoresistiver Miniaturdrucksensoren
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Weitere Titelangaben:Influence of R.H. on stability of piezoresistive miniature pressure sensors
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Beteiligte:Nakladal, A. ( Autor:in ) / Sager, K. ( Autor:in )
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Erschienen in:VDI-Bericht ; 173-178
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Verlag:
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Erscheinungsort:Düsseldorf
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Erscheinungsdatum:1992
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Format / Umfang:6 Seiten, 4 Bilder, 8 Quellen
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ISBN:
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Medientyp:Aufsatz (Konferenz)
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Format:Print
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Sprache:Deutsch
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Schlagwörter:
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Datenquelle:
Inhaltsverzeichnis Konferenzband
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Sensorik im Kraftfahrzeug - vom Sensor zum SystemKiencke, U. et al. | 1992
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Vergleich der Ansprechgeschwindigkeit von Kfz-Abgassensoren zur schnellen Lambdamessung auf der Grundlage von ausgewählten MetalloxiddünnfilmenLampe, U. / Gerblinger, J / Meixner, H. et al. | 1992
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Heißfilm-Luftmassenmesser zur Steuerung der Kraftstoffzumessung bei OttomotorenHosp, W. / Schreiber, H. et al. | 1992
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Berührungslose Lenkmomentmessung auf der Basis von DehnwiderständenZabler, E. / Heintz, F. / Dukart, A. / Krott, R. et al. | 1992
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Integrierte Sensorelektronik für Mikrosystem-AnwendungenBrockherde, W. / Hosticka, B.J. / Klinke, R. / Schnatz, F.V. et al. | 1992
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Ein Interpolations-Prozessor für ein digitales Sensor-AuswertechipDietz, R. / Zabler, E. / Heintz, F. et al. | 1992
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Selbstkalibriernder hochauflösender DA-Konverter mit Floating-Gate-Transistoren als nichtflüchtige AnalogwertspeicherSoennecken, A. / Kettner, T. / Maul, A. / Hilleringmann, U. / Goser, K. / Schumacher, K. et al. | 1992
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Ein ASIC als Interface zwischen Sensor und FeldbusNeumann, D. / Varchmin, J.U. et al. | 1992
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Chemosensoren aus AnwendersichtRaab, H. et al. | 1992
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Chemical sensors and the chemical industry. A match yet to be madeMichaux, B. et al. | 1992
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Stress mesurements by X-rays on hot formed bars after mechanical surface treatmentBenning, O. / Müller, E. et al. | 1992
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Der Einsatz von Sensoren in der chemischen Analytik. Das Konzept des totalen AnalysesystemsHaemmerli, S. / Manz, A. / Widmer, H.M. et al. | 1992
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Chemische Sensoren. Entwicklung und AnwendungAche, H.J. et al. | 1992
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Mikrowellensensor zur FüllstandmessungOtto, J. et al. | 1992
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Millimeterwellen-Radarsensor für autonome, mobile FahrzeugeRozmann, M. / Detlefsen, J. / Lange, M. et al. | 1992
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Korrelatives Impulskompressionsverfahren zur Laufzeitbestimmung stark gestörter frequenzmodulierter SignaleAubauer, R. et al. | 1992
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Kapazitive Mikrosensorsysteme mit Langmuir-Blodgett-Membranen zur Messung von Ionenkonzentrationen in FlüssigkeitenErbach, R. / Hoffmann, B. / Kauffmann, F. et al. | 1992
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Ultraschall-Sensorsystem für fluide Mehrphasen-SystemeHauptmann, P. / Bode, M. / Henning, B. / Lucklum, R. et al. | 1992
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Wasserhärtebestimmung durch Differenzmessung mit ISFETsKlein, M. et al. | 1992
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Zur Prüfung und Anwendung von ISFET-pH-SensorenKaden, H. / Oelßner, W. et al. | 1992
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Sensoren für die Biotechnologie auf der Basis von PolymerenWeddigen, G. / Suhr, H. / Wehnert, G. et al. | 1992
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Ultraschall-Sensoren für Abstand, Durchfluß und GeschwindigkeitMagori, V. et al. | 1992
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Ultraschall-Kurzdistanz-Abstandssensoren für hohe WegauflösungManthey, W. et al. | 1992
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Berührungslose Geschwindigkeitsmessung nach dem Dopplerprinzip mit Ultraschall und MikrowelleHeide, P. / Schubert, R. / Joppich, M. et al. | 1992
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Ultraschalldurchflußsensor für die GasverbrauchsmessungJena, A. von / Magori, V. et al. | 1992
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Einfluß der relativen Luftfeuchte auf die Stabilitätskennwerte piezoresistiver MiniaturdrucksensorenNakladal, A. / Sager, K. et al. | 1992
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Kapazitiver Siliziumdrucksensor mit on-chip CMOS-SignalverarbeitungKopystynski, P / Mehlhorn, T. / Obermaier, E. / Schnatz, F.V. / Schöneberg, U. / Benzel, H. et al. | 1992
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Oberflächenmikromechanik für die Herstellung von Silizium-DrucksensorenDudaicevs, H. / Kandler, M. / Mokwa, W. et al. | 1992
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Dimensionierung und Realisierung von überlastsicheren piezoresistiven Differenzdruckmeßzellen für die ProzeßmeßtechnikWerthschützky, R. / Dannhauer, W. / Schwabe, F. et al. | 1992
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Integrierte optische interferometrische SensorenSohler, W. et al. | 1992
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Fiber-optic interferometric strain gauge for 'smart structures'Fürstenau, N. / Schmidt, W. / Goetting, H.C. et al. | 1992
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Faseroptischer Antastsensor für rauhe OberflächenUlrich, R. et al. | 1992
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Laserinterferometrische Sensoren für industrielle AnwendungenJäger, G. et al. | 1992
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Interferometrisch arbeitende Sensoren für die Gas- und FlüssigkeitsanalyseZöchbauer, M. et al. | 1992
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Anwendungspotential der LIGA-Technik für SensorenMenz, W. et al. | 1992
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Sensors and actuators in silicon technologyRooij, N.S. de et al. | 1992
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Sensoren im Backofen und MikrowellenherdKrümpelmann, T. et al. | 1992
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Sensorik zur Erfassung von Straßenzustands- und WetterdatenMöller, E. / Bernstein, L. et al. | 1992
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Infrarot-Kamera mit pyroelektrischem SensorarrayBudzier, H. / Hoffmann, U. / Hofmann, G. et al. | 1992
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Miniatur-Druckmeßumformer mit berührungsloser MeßwertübertragungPaul, H. / Viel, W. et al. | 1992
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Ein digitales Drehmoment-Meßverfahren auf KorrelationsbasisFührer, J. / Isermann, R. et al. | 1992
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Photovoltaische HgCdTe-Infrarotdetektoren für den MWIR-BereichGreßlehner, K.H. / Schirz, W. / Humenberger, J. / Sitter, H. / Lischka, K. et al. | 1992
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Interface- und Oberflächen-Statistik für einen Schottky-Barrieren-Gassensor. Ein theoretisches ModellGeistlinger, H. et al. | 1992
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CMOS-Auslese-IC für kapazitive SensorenSchnatz, F.V. / Brockherde, W. / Schöneberg, O. / Kopystynski, P. / Mehlhorn, T. / Benzel, H. et al. | 1992
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Digitale busfähige SensorelektronikPhilipps, M. et al. | 1992
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Silizium-Mikroleistungssensor mit externer BandbreiteKopystynski, P. / Obermeier, E. / Delfs, H. / Löser, A. et al. | 1992
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Drehmomentsensor mit amorphen MetallfolienHauptmann, P. / Lucklum, R. / Birnstiel, A. et al. | 1992
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Ein hochlinearer kapazitiver DrucksensorBenzel, H.W. / Kallfaß, T. / Lüder, E. / Schnatz, F.V. et al. | 1992
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Ein Glasfasersensor für die SichtprüfungQiu, Q. et al. | 1992
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Dynamometrische Saphir-Sensoren. Technologien, Charakteristika, GrenzenBoller, S. et al. | 1992
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Neues Photolithographieverfahren zur Herstellung von DünnfilmsensorenSachse, H. et al. | 1992
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Neues Entwurfskonzept zur digitalen Korrektur des Umgebungstemperatur-Einflusses auf SensorenLöschberger, C. et al. | 1992
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Charakterisierung elastischer Eigenschaften dünner Filme durch Messung der MembrandurchbiegungMaibach, J. / Maier-Schneider, D. / Obermeier, E. et al. | 1992
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Optimierung der Ansprechzeit resistiver SauerstoffsensorenTragut, C. et al. | 1992
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Simulation von resistiven, kapazitiven und induktiven Sensoren mit nichtlinearen Netzwerk-AnalyseprogrammenWeißel, R. et al. | 1992
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PVDF-Resonator-Sensoren zur Überwachung von GasparameternLindner, G. / Fickler, G. et al. | 1992
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Schnelle 3-dimensionale Bilderfassung mit dem codierten LichtansatzWolf, H. et al. | 1992
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High-sensitivity thermostable strain-gauge elements for mechanical value sensorsFastykovsky, P.P. et al. | 1992
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Grenzen der Verbesserung der Genauigkeit von Sensoren durch Hard- und Softwaremaßnahmen am Beispiel kapazitiver SensorenHerold, H. et al. | 1992
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Bleiphtalocyanin-NO2-Sensoren. Ein Modell ihrer WirkungsweiseHamann, C. / Mrwa, A. / Starke, M. et al. | 1992
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PODYCOUS. Ein Verfahren zur Bestimmung von Gaskonzentrationen mit Festelektrolyt-SensorenSchmäh, M. / Horn, B. / Hielscher, B. et al. | 1992
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Sauerstoff-Sensoren auf der Basis n-dotierter Strontiumtitanat-SchichtenGerblinger, J. / Reitmeier, N. / Meixner, H. et al. | 1992
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ZrO2-Mischpotentialsensoren zur Kontrolle von VerbrennungsprozessenBaier, G. / Vogel, A. / Schüle, V. et al. | 1992
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Einsatz eines Rasterelektronenmikroskops in der GassensorikHacker, B. / Hanrieder, W. / Meixner, H. et al. | 1992
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Noncontact scanning system with laser optical displacement sensor for automatic inprocess measurement of dimensional change of grinding wheelKagiwada, T. et al. | 1992
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Prüfen flexibler, torusförmiger Werkstücke. Meß- und AuswerteverfahrenWeckenmann, A. / Rittershaus, L. / Weber, H. et al. | 1992
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Lasergeradheitsmeßverfahren mit Positionsdioden und integrierter StrahllagekorrekturLang, M. / Pfeifer, T. / Thiel, J. et al. | 1992
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Sensorbetriebssystem für flexibel konfigurierbare MultisensorsystemePfeifer, T. / Fussel, B. et al. | 1992
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Festkörper-Aktoren. Technologien und AnwendungenJanocha, H. et al. | 1992
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Spannungsarme Aufbautechnik piezoresistiver Siliziumsensoren durch Einsatz von GlaslotenMünch, W.von / Crazzolara, H. et al. | 1992
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Eine Festelektrolyt-Sauerstoffpumpe zur Untersuchung resistiver Metalloxid-GassensorenBeetz, K. / Härdtl, K.H. et al. | 1992
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Herstellung und Charakterisierung eines polykristallinen Diamant-DünnfilmthermistorsWerner, M. / Dorsch, O. / Obermeier, E. et al. | 1992
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Zwei- und dreidimensionale Mikrostrukturen zur Realisierung von ChemosensorenSchlichting, V. / Lin, J. / Obermeier, E. et al. | 1992
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Mikromembranen für berührungslose Messungen mit UltraschallSchomburg, W.K. / Walter, M. / Köhler, R. / Liebig, V. et al. | 1992
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Neuartige Miniatur-Aufnehmer zum Messen von Winkeln und von Drehzahlen mittels magnetischer Effekte im VergleichRohrbach, C. et al. | 1992
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Hochauflösende Wegmessung auf der Basis magnetostatisch schwingender FestkörperresonatorenRichter, W. / Rothe, L. et al. | 1992
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Neue Kraftmeßringe mit orthogonal belasteten Dickschichtwiderständen auf Stahlsubstrat für SpindelpressenHeinz, R. / Moser, M. et al. | 1992
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