Polysilicon pressure sensors (Englisch)
- Neue Suche nach: Farooqui, M.M.
- Neue Suche nach: Evans, A.G.R.
- Neue Suche nach: Farooqui, M.M.
- Neue Suche nach: Evans, A.G.R.
In:
Meeting of the Instrument Science and Technology Group of the Institute of Physics
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15-22
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1986
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ISBN:
- Aufsatz (Konferenz) / Print
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Titel:Polysilicon pressure sensors
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Weitere Titelangaben:Drucksensoren aus Polysilizium
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Beteiligte:Farooqui, M.M. ( Autor:in ) / Evans, A.G.R. ( Autor:in )
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Erschienen in:
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Verlag:
- Neue Suche nach: Inst. of Physics
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Erscheinungsort:Bristol (GB)
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Erscheinungsdatum:1986
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Format / Umfang:8 Seiten, 6 Bilder, 2 Quellen
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ISBN:
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Medientyp:Aufsatz (Konferenz)
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Format:Print
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Sprache:Englisch
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Schlagwörter:
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Datenquelle:
Inhaltsverzeichnis Konferenzband
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Silicon based sensors. Technology overview. Silicon as a mechanical materials fabrication techniquesGreenwood, J. et al. | 1986
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Polysilicon pressure sensorsFarooqui, M.M. / Evans, A.G.R. et al. | 1986
- 69
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A micro-transducer for differential pressureBorthwick, S. et al. | 1986
- 73
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A pressure transducer using a silicon cantileverFry, P.W. et al. | 1986