Strukturbreitenmessung mit lichtoptischen Verfahren (Deutsch)
- Neue Suche nach: Mirande, W.
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In:
Fertigungsmesstechnik fuer Forschung und Industrie. Industrielle Anwendungen optischer Messverfahren
;
319-330
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1987
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ISBN:
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ISSN:
- Aufsatz (Konferenz) / Print
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Titel:Strukturbreitenmessung mit lichtoptischen Verfahren
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Weitere Titelangaben:Measurement of microstructures with optical methods
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Beteiligte:Mirande, W. ( Autor:in )
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Erschienen in:Fertigungsmesstechnik fuer Forschung und Industrie. Industrielle Anwendungen optischer Messverfahren ; 319-330VDI-Berichte ; 659 ; 319-330
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Verlag:
- Neue Suche nach: VDI-Verl.
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Erscheinungsort:Duesseldorf (DE)
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Erscheinungsdatum:1987
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Format / Umfang:12 Seiten, 9 Bilder, 10 Quellen
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ISBN:
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ISSN:
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Medientyp:Aufsatz (Konferenz)
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Format:Print
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Sprache:Deutsch
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Schlagwörter:
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Datenquelle:
Inhaltsverzeichnis Konferenzband
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