Electromechanical sensors. Results and fabrication procedures (Englisch)
- Neue Suche nach: Guckel, H.
- Neue Suche nach: Burns, D.W.
- Neue Suche nach: Showers, D.K.
- Neue Suche nach: Uglow, J.
- Neue Suche nach: Visser, C.
- Neue Suche nach: Rutigliano, C.R.
- Neue Suche nach: Guckel, H.
- Neue Suche nach: Burns, D.W.
- Neue Suche nach: Showers, D.K.
- Neue Suche nach: Uglow, J.
- Neue Suche nach: Visser, C.
- Neue Suche nach: Rutigliano, C.R.
In:
international symposium on microelectronics
;
95-98
;
1987
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ISBN:
- Aufsatz (Konferenz) / Print
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Titel:Electromechanical sensors. Results and fabrication procedures
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Weitere Titelangaben:Elektromechanische Sensoren. Herstellung und Ergebnisse
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Beteiligte:Guckel, H. ( Autor:in ) / Burns, D.W. ( Autor:in ) / Showers, D.K. ( Autor:in ) / Uglow, J. ( Autor:in ) / Visser, C. ( Autor:in ) / Rutigliano, C.R. ( Autor:in )
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Erschienen in:
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Verlag:
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Erscheinungsdatum:1987
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Format / Umfang:4 Seiten, 5 Bilder, 5 Quellen
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ISBN:
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Medientyp:Aufsatz (Konferenz)
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Format:Print
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Sprache:Englisch
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Schlagwörter:
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Datenquelle:
Inhaltsverzeichnis Konferenzband
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-
Packaging evaluation for silicon pressure sensorsBergstrom, J.S. / Teat, W.H. et al. | 1987
- 95
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Electromechanical sensors. Results and fabrication proceduresGuckel, H. / Burns, D.W. / Showers, D.K. / Uglow, J. / Visser, C. / Rutigliano, C.R. et al. | 1987