Propagation of Dry Etch-Induced Damage in III-V Semiconductors (Englisch)
Nationallizenz
- Neue Suche nach: Chen, Ching Hui
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In:
Defect and Diffusion Forum
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157-159
;
175-190
;
1998
- Aufsatz (Zeitschrift) / Elektronische Ressource
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Titel:Propagation of Dry Etch-Induced Damage in III-V Semiconductors
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Beteiligte:
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Erschienen in:Defect and Diffusion Forum ; 157-159 ; 175-190
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Verlag:
- Neue Suche nach: Trans Tech Publications
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Erscheinungsort:Stafa-Zurich, Switzerland
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Erscheinungsdatum:30.03.1998
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Format / Umfang:16 pages
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ISSN:
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DOI:
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Medientyp:Aufsatz (Zeitschrift)
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Englisch
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Schlagwörter:
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Datenquelle:
Inhaltsverzeichnis – Band 157-159
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