Grenzschichtprobleme an Mikroelektroden (Deutsch)
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In:
Mikro-Nano-Integration
;
5
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2009
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ISBN:
- Aufsatz (Konferenz) / Elektronische Ressource
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Titel:Grenzschichtprobleme an Mikroelektroden
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Beteiligte:Pliquett, Uwe ( Autor:in ) / Nacke, Thomas ( Autor:in ) / Frense, Dieter ( Autor:in ) / Beckmann, Dieter ( Autor:in ) / Steinke, Arndt ( Autor:in )
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Kongress:Mikro-Nano-Integration - 1. GMM-Workshops ; 2009 ; Seeheim, Germany
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Erschienen in:GMM-Fachbericht ; 60 ; 5
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Verlag:
- Neue Suche nach: VDE VERLAG GMBH
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Erscheinungsdatum:01.01.2009
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Format / Umfang:5 pages
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ISBN:
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Medientyp:Aufsatz (Konferenz)
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Deutsch
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Datenquelle:
Inhaltsverzeichnis Konferenzband
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Abformung mikro- und nanostrukturierter KunststoffformteileKuhn, Sascha et al. | 2009
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Simulation of lithographic processes for fabrication of nanostructuresErdmann, Andreas / Fühner, Tim / Evanschitzky, Peter / Liu, Shijie et al. | 2009
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Metall-Nanosensor für den Nachweis von BiomolekülenArnheiter, Frank / Asmus, Tim / Loose, Thomas / Wienand, Karlheinz / Thielemann, Christiane et al. | 2009
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Selective deposition of aligned carbon nanotubes for NEMS applicationsBonitz, Jens / Hermann, Sascha / Loschek, Sergei / Liu, Ping / Schulz, Stefan E. et al. | 2009
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Mikrostrukturierte Polymerfolien mit integrierter Nanotopographie als Zell-InterfaceReinhardt, M. / Schleunitz, A. / Truckenmüller, R. / Bartels, S. / Gottwald, E. / Saile, V. / Giselbrecht, S. et al. | 2009
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Reaktives Mikrofügen unter Ausnutzung nanoskaliger EffekteBräuer, Jörg / Baum, Mario / Wiemer, Maik / Geßner, Thomas et al. | 2009
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Variation von nanostrukturiertem Silicium aus DRIE-Tiefenätzprozessen zur Integration in Si-basierte MEMSKremin, C. / Leopold, S. / Stubenrauch, M. / Hoffmann, M. et al. | 2009
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