Vor-Ort-Erzeugung von Mikro- und Nanodrähten auf geraden und gekrümmten Oberflächen (Deutsch)
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In:
MikroSystemTechnik 2015
;
4
;
2015
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ISBN:
- Aufsatz (Konferenz) / Elektronische Ressource
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Titel:Vor-Ort-Erzeugung von Mikro- und Nanodrähten auf geraden und gekrümmten Oberflächen
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Beteiligte:Wick, K. ( Autor:in ) / Roustaie, F. ( Autor:in ) / Quednau, S. ( Autor:in ) / Schlaak, H. F. ( Autor:in )
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Kongress:MikroSystemTechnik 2015 - MikroSystemTechnik Kongress 2015 ; 2015 ; Karlsruhe, Deutschland
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Erschienen in:
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Verlag:
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Erscheinungsdatum:01.01.2015
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Format / Umfang:4 pages
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ISBN:
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Medientyp:Aufsatz (Konferenz)
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Deutsch
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Datenquelle:
Inhaltsverzeichnis Konferenzband
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Das Technische Auge - Dreidimensionale Abtastung des ObjektraumsLeopold, Steffen / Pätz, Daniel / Sinzinger, Stefan / Hoffmann, Martin et al. | 2015
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Mikrolinsen für implantierbare OptrodenRudmann, L. / Huber, S. D. / Ordonez, J. S. / Stieglitz, T. et al. | 2015
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Kabellose Linearführungssysteme mit integrierter PositionssensorikGuthörl, Eike / Paul, Johannes / Mathieu, Jérôme / Lindemann, Ralf / Shanib, Maruan et al. | 2015
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On-Chip Brennstoffzellen als Energieversorgung für RFID SystemeZimmermann, D. / Moranz, C. / Kuhl, M. / Freund, I. / Müller, C. / Reinecke, H. / Manoli, Y. et al. | 2015
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Entwicklung einer neuartigen nichtflüchtigen Speichertechnologie für zukünftige AutomobilanwendungenWenger, Ch. / Hildebrandt, E. / Vogel, S. / Sharath, S. U. / Alff, L. et al. | 2015
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Verwendung von Schattenmasken zur Direktstrukturierung individuell adaptierbarer Sensorik auf technischen OberflächenKlaas, D. / Rittinger, J. / Taptimthong, P. / Düsing, J. F. / Wurz, M. C. / Rissing, L. et al. | 2015
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Untersuchungen zur Abhängigkeit der mechanischen Bruchfestigkeit von Siliziummembranen von der ÄtztechnologieBrokmann, Geert / Täschner, Robert / Pobering, Sebastian / Porytskyy, Rudolf / Übensee, Hartmut / Blech, Michael / Ortlepp, Thomas et al. | 2015
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Neue Zytometrie-Strukturen für Streulicht- und GeschwindigkeitsmessungenFreundlieb, Mareike / Michael Schlüter, / Schütte, Helmut et al. | 2015
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MEMS Spiegel für die Hochleistungs-LasermaterialbearbeitungSenger, F. / Herwig, P. / Gawlitza, P. / Ortega-Delgado, M. / Wantoch, T. v. / Mallas, C. / Wetzig, A. / Hofmann, U. et al. | 2015
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Low-Power Elektronik für MEMS MikrospiegelRombach, Stefan / Marx, Maximilian / Gu-Stoppel, Shanshan / Manoli, Yiannos et al. | 2015
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Modulare Mikrofluidik-Plattform im Laboratory Disc-Format für die biosensorische Bestimmung von Propionsäure-KonzentrationenSchmidl, G. / Dutz, S. / Kielpinski, M. / Mayer, G. / Simonte, F. / Gescher, J. / Henkel, T. et al. | 2015
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Entwicklung eines miniaturisierten Flammenionisationsdetektors in der keramischen Mehrlagentechnologie für den Schutz vor explosionsfähigen GasgemischenLenz, C. / Saha, A. Tagne / Ziesche, S. / Kuipers, W. / Koch, C. / Deilmann, M. et al. | 2015
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Integration eines neuartigen kohlenstoffbasierten Materials – Carbon NanoPillars – in DehnungsmessstreifenRiekeberg, S. / Quiring, G. / Müller, J. / Trieu, H. K. et al. | 2015
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Biohybrides Mikrofluidiksystem als Modell einer Blutkapillare zur Analyse der Extravasation von TumorzellenKayo, S. / Kühlbach, C. / Sechi, J. / Herrlich, S. / Zengerle, R. / Müller, M. M. et al. | 2015
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Ultra-kompakte adaptive Hochgeschwindigkeitslinsen mit großer Apertur und asphärischer KorrekturWapler, Matthias C. / Weirich, Christopher / Stürmer, Moritz / Wallrabe, Ulrike et al. | 2015
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Simulation und Messungen zum Mikroelektrospray-VerfahrenPagel, Natalie / Mettel, Cecil / Feili, Dara / Seidel, Helmut et al. | 2015
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Flachbauendes Multiaperturmikroskop mit hohem AuflösungsvermögenHermeyer, Tobias / Wippermann, Frank / Berlich, René / Reimann, Andreas / Brückner, Andreas / Bräuer, Andreas et al. | 2015
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Autonomer Mikrosensor zur Integration von StoßereignissenMehner, H. / Weise, C. / Schwebke, S. / Hampl, S. / Hoffmann, M. et al. | 2015
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Mechanische Charakterisierung von metallischen 1D-NanostrukturenDassinger, F. / Hottes, M. / Ensinger, W. / Schlaak, H. F. et al. | 2015
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Systemintegration auf Hard- und Softwareebene am Beispiel des 2:1 Funktionsmodells eines Künstlichen AkkommodationssystemsGengenbach, U. / Beck, C. / Guth, H. / Hellmann, A. / Koker, L. / Krug, M. / Martin, T. / Nagel, J. / Sieber, I. / Scharnowell, R. et al. | 2015
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Numerische und experimentell verifizierte Berechnung fluidischer und thermoelastischer Dämpfung in MEMSFreitag, M. / Sorger, A. / Voigt, S. / J. Mehner et al. | 2015
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Autonomer Sensor für den Sauerstoffnachweis in Verpackungen mittels natürlicher FettsäurenWeigel, Christoph / Schneider, Mike / Hoffmann, Martin / Kahl, Sebastian / Jurisch, Reinhard et al. | 2015
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Autonomer binärer Zähler für die Erfassung von GrenzwertereignissenMehner, H. / Schwebke, S. / Leopold, S. / Hoffmann, M. et al. | 2015
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Elektrophoretische Abscheidung von Bismutvanadat f"ür Photo-Elektrochemische ZellenMauck, Markus / Megnin, Christof / Hanemann, Thomas / Müller, Claas et al. | 2015
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Adhesion of Continuous and Homogeneous Electrodeposited Copper Layers on SiliconLima, F. / Reinecke, H. / Mescheder, U. et al. | 2015
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Optimization of Diaphragm Characteristics of an Absolute MEMS Capacitive Polysilicon Pressure SensorWalk, Christian / Giese, André / Weidenmüller, Jens / Görtz, Michael et al. | 2015
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Design and fabrication of a Thermoelectric Nanowire Characterization Platform (TNCP) for structural and thermoelectric investigation of single nanowiresMoosavi, S. Hoda / Kröner, Michael / Woias, Peter et al. | 2015
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Entwicklung und Charakterisierung einer magnetohydrodynamischen (MHD) PumpeBamarni, D. / Müller, C. / Reinecke, H. et al. | 2015
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Particle Tolerance of micro diaphragm pumps with low chamber heights and passive flap valvesJenke, C. W. / Muster, T. / Richter, M. / Kutter, C. et al. | 2015
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Optoelektronischer Nivellierungssensor – Simulationen und FunktionsmusterMüller, R. / Förster, E. / Brodersen, O. et al. | 2015
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Nutzung von neuartigen nanoporigen, piezoelektrischen Wandlermaterialien in Strömungs-Energy-HarvesterM. Spornraft, / Schwesinger, N. / Berger, Shlomo et al. | 2015
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Thermoelektrisch versorgte, energieautarke Sensorsysteme im KfzWoias, P. / Mehne, P. / Heller, S. / Kröner, M. et al. | 2015
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Der multisensorische WerkzeughalterBrozio, Matthias et al. | 2015
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MEMS-Mikrofone mit hohem Signal zu Rausch Abstand und geringen SensitivitätsstreuungenWalser, Sebastian / Feiertag, Gregor / Loibl, Michael / Pahl, Wolfgang / Winter, Matthias / Siegel, Christian / Leidl, Anton et al. | 2015
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Vor-Ort-Erzeugung von Mikro- und Nanodrähten auf geraden und gekrümmten OberflächenWick, K. / Roustaie, F. / Quednau, S. / Schlaak, H. F. et al. | 2015
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System- und Schaltungskonzepte für Low-Power-Radarsensorik zur AnwesenheitsdetektionLurz, Fabian / Mann, Sebastian / Linz, Sarah / Lindner, Stefan / Weigel, Robert / Koelpin, Alexander et al. | 2015
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Sensorkapsel für die medizinische In-vivo-BiosensorikStett, A. / Link, G. / Metzen, R. von / Schneider, K. / Mintenbeck, D. / Rossbach, D. / Richter, H. / Nawito, M. / Jeschke, C. / Bludau, O. et al. | 2015
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Herstellung von strukturierten Metalloberflächen durch Template-StrippingSchmidl, Gabriele / Dellith, Jan / Teller, Nicole / Li, Guangrui / Zopf, David / Dathe, Andre / Mayer, Günter / Hübner, Uwe / Fritzsche, Wolfgang et al. | 2015
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Smartphone EasyELISA - A point-of-care platform for cost-effective and easy-to-use in vitro diagnosticsVenkatesh, A. G. / Stetten, Felix von / Zengerle, Roland / Vashist, Sandeep Kumar et al. | 2015
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Formulierung nanopartikulärer Wirkstoffe in mikrofluidischen EmulsionenLorenz, Thomas / Steens, Corinna / Dietzel, Andreas et al. | 2015
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Temperatureinfluss auf die Peakposition bei verschiedenen Umgebungsmedien in Porösen Silizium MultilayerschichtenKovacs, A. / Mauer, P. / Mescheder, U. et al. | 2015
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Ein neuartiges 2D-MOEMS-Scanner basiertes LIDAR-System zur Objekt- und UmgebungserkennungGiese, T. / Grünzig, S. / Weiler, L. / Hofmann, U. / Stenchly, V. / Benecke, W. et al. | 2015
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Flexibles magnetisches Lese-/Schreibsystem: Design eines SchreibkopfesTaptimthong, P. / Rittinger, J. / Wurz, M. C. / Rissing, L. et al. | 2015
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Silizium-Photonik: Integriertes Sensorkonzept für die Detektion von Gasen und FlüssigkeitenKaschel, Mathias / Frank, Alexander / Letzkus, Florian / Butschke, Jörg / Burghartz, Joachim et al. | 2015
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Dünne Isolationsschichten für die Hochfrequenz-ChirurgieBanghard, Michael / Silmy, Kamel / Nisch, Wilfried / Bucher, Volker et al. | 2015
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Automatisiertes Mikrofluidik-System mit optischem Aufbau zur Untersuchung von Peptid-Antikörper-Wechselwirkungen im ArrayformatWeber, L. K. / Fischer, A. / Soehindrijo, M. / Förtsch, T. C. / Bojnicic-Kninski, C. / Althuon, D. / Schillo, S. M. / Striffler, J. / Löffler, F. F. / Breitling, F. et al. | 2015
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Demonstration mehrerer MST-Funktionalitäten mittels hochauflösender Stereolithographie anhand eines 3D mikrofluidischen MixersLucklum, F. / Vaidyanathan, P. / Vellekoop, M. J. et al. | 2015
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Poröses LTCC als Substratmaterial für HöchstfrequenzradarsensorenBittner, Achim / Steinhäußer, Frank / Talai, Armin / Koelpin, Alexander / Weigel, Robert / Rittweg, Thomas / Schwanke, Dieter / Sandulache, Gabriela / Hansal, Wolfgang / Schmid, Ulrich et al. | 2015
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Thermisches Verhalten von SiCer – ein innovatives Verbundsubstrat für MEMSFischer, Michael / Karolewski, Dominik / Welker, Tilo / Schelestow, Kristina / Gropp, Sebastinan / Hoffmann, Martin / Müller, Jens et al. | 2015
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Design von elektrostatischen Wanderkeilaktoren für THz-Hohlleiter-SchalterLämmle, D. / Schlaak, H. F. et al. | 2015
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Nachhaltige Mikrofluidik durch Heißprägen von SchellackLausecker, Roland / Badilita, Vlad / Wallrabe, Ulrike et al. | 2015
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ALD-basierte, monolithisch integrierte 3D-NanostrukturenJupe, A. / Goehlich, A. / Feizi, K. / Vogt, H. et al. | 2015
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Microfabrication of high permittivity metamaterials with tall metal inclusions in thick photoresist layersAligodarz, M. Tayfeh / Klymyshyn, D. M. / Börner, M. / Matthis, B. / Mohr, J. et al. | 2015
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Ablenkeinheit mit vergrabenen Wolframelektroden für die Multi-ElektronenstrahllithografieJurisch, M. / Irmscher, M. / Letzkus, F. et al. | 2015
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Characterization of the influence of Sodium-Lauryl-Sulfate on the surface quality of electrodeposited Nickel-Cobalt alloysKhazi, Isman / Mescheder, Ulrich / Siddiqui, Zohaib et al. | 2015
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Entwicklung einer Mikrochip navigierten ZellsortieranlageKahnert, S. / Schreiber, F. / Goehlich, A. / Erni, D. / Greifendorf, D. / Lennartz, K. / Kirstein, U. / Bartels, F. / Janzyk, U. / Rennings, A. et al. | 2015
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Nanofluidisches Interdigitalinterferometer für die Anreicherung und label-freie Detektion biologischer MoleküleJürgens, F. / Dietzel, A. / Burg, T. P. et al. | 2015
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Zylindrisches Bildaufnahmesystem basierend auf einem mechanisch flexiblen CMOS-BildsensorHäfner, Joachim / Mokwa, Wilfried et al. | 2015
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Modulare aktive Probecard zur Systemcharakterisierung von mikroelektromechanischen Sensoren am Beispiel von GyroskopenWeidlich, S. / Forke, R. / Billep, D. / Konietzka, S. / Köhler, D. / Hiller, K. / Geßner, T. et al. | 2015
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SystemC AMS basierte V&V-Methodik in der MikrosystemtechnikEhrlich, Paul / Schulz, Stephan et al. | 2015
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Einfluss der Verbindungstechnologie auf das Auslenkverhalten von gesteuerten MikromembranaktorenSeyfert, L. / Zähringer, S. / Schwesinger, N. et al. | 2015
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Integration von dreidimensionalen Strukturen in mikrofluidische SystemeEschenbaum, C. / Lemmer, U. et al. | 2015
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Multifunktionale Dünnschichtsensormodule zur Überwachung von ProduktionsprozessenBiehl, Saskia / Rumposch, Christian / Paetsch, Nancy / Meyer-Kornblum, Eike et al. | 2015
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Sensorbasierte Elektroniksysteme für Industrie 4.0 – ein Blick auf die Forschungsförderung des BMBFBerns, Andreas / Wenzel, Marita / Berger, Jürgen et al. | 2015
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Komplexe Systeme in Folie – Heterogene Systemintegration auf Basis dünner Si-Chips und flexibler SubstrateHarendt, Christine et al. | 2015
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Integrierte NTC-Dickschichtsensoren in LTCC Fluidmodule zur Temperaturregelung in bio-zentrierten ZellhandlingsystemenBartsch, H. / Welker, K. / Witte, H. / Müller, J. et al. | 2015
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Verschiedene Kraftsensorprinzipien für flexible Schuheinlagen in der akustischen GanganalyseKnieling, Thomas / Kurylo, Agnieszka / Beeck, Florian / Sethumadhavan, Vithyasaahar et al. | 2015
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Multi-Parameter Low-Power Sensor Netzwerk für die MeeresforschungWahn, L. / Gentz, T. / Trieu, H. K. / Schlüter, M. / Müller, J. et al. | 2015
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Herstellung mikrooptischer Komponenten durch Zwei-Photonen-PolymerisationDietrich, P.-I. / Wondimu, S. F. / Wienhold, T. / Steidle, M. / Hofmann, A. / Lindenmann, N. / Billah, M. R. / Hoose, T. / Blaicher, M. / Freude, W. et al. | 2015
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Modulare µ-MRT Spule der zweiten GenerationSpengler, N. / Höfflin, J. / Moazenzadeh, A. / Wallrabe, U. / Korvink, Jan G. et al. | 2015
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Mit Röntgenlithographie gefertigte Gitterstrukturen ermöglichen neue Röntgenbildgebung in Medizin und MaterialwissenschaftKoch, Frieder / Schröter, Tobias / Meiser, Jan / Meyer, Pascal / Kunka, Danays / Faisal, Abrar / Yaroshenko, Andre / Birnbacher, Lorenz / Prade, Friedrich / Pfeiffer, Franz et al. | 2015
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Optisch auslesbarer Drucksensor auf Basis einer nanostrukturierten MembranKarrock, Torben / Gerken, Martina et al. | 2015
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Entwicklung einer Regelung für frequenzstimmbare, nichtlineare, piezoelektrische VibrationswandlerHeller, S. / Neiss, S. / Woias, P. / Kroener, M. et al. | 2015
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Fortschritte beim Mikrospritzgießen: Abformung im Nanometerbereich und Mehrkomponenten-SpritzgießenPiotter, Volker / Klein, Alexander / Müller, Tobias / Plewa, Klaus / Prokop, Jürgen et al. | 2015
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Self-aligning micro punch-die tool-system for high precision blanking of thin metal foilsKhazi, Isman / Mescheder, Ulrich et al. | 2015
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Kompaktmodell für die Charakterisierung eines piezoelektrischen MembrandruckkopfesRumschöttel, Dominik / Kagerer, Markus / Irlinger, Franz / Lueth, Tim C. et al. | 2015
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Röntgenoptische Messung des Seitenwandwinkels direktlithografischer refraktiver RöntgenlinsenLast, Arndt / Márkus, Ottó / Georgi, Sebastian / Mohr, Jürgen et al. | 2015
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Methoden zur fotolithographischen Herstellung Diffraktiv Optischer Elemente in Quarzglas mit hoher BeugungseffizienzSchmitt, J. / Bischoff, Ch. / Rädel, U. / Grau, M. / Wallrabe, U. / Völklein, F. et al. | 2015
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MEMS-basierter thermischer Durchflusssensor für eine Flussmessung mit hoher DynamikSaremi, S. / Feili, D. / Alyari, A. / Seidel, H. et al. | 2015
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FE-Untersuchung zum thermo-mechanischen Verhalten eines in einen Transmissionsriemen integrierten RFID basierten Smart-SystemAlbrecht, Jan / Dudek, Rainer / Auersperg, Jürgen / Rzepka, Sven et al. | 2015
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Waferlevel AVT mit Pd/Al-integrierten reaktiven MultilagensystemenVogel, Klaus / Roscher, Frank / Hertel, Silvia / Wiemer, Maik / Geßner, Thomas et al. | 2015
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Geregeltes Auslesekonzept für LorentzkraftmagnetometerKrawat, Daniel / Maurer, Michael / Manoli, Yiannos et al. | 2015
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Robuste Erkennung von kombinierten Positions- und Identifizierungs-MikromarkierungenFörtsch, Tobias C. / Bojnicic-Kninski, Clemens von / Khan, M. Shahbaz / Märkle, Frieder / Weber, Laura K. / Fischer, Andrea / Münster, Bastian / Ridder, Barbara / Althuon, Daniela / Striffler, Jakob et al. | 2015
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Miniaturisierte On-Chip Teststrukturen zur Festigkeitsüberwachung von Poly-SiliziumBrückner, John / Glacer, Christoph / Dehé, Alfons / Auerswald, Ellen / Hildebrandt, Marcus / Vogel, Dietmar / Rzepka, Sven et al. | 2015
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Ultradünnes elastisches Sensor-Array für 3D-BiegemessungenKoch, Eugen / Dietzel, Andreas et al. | 2015
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Design, Fabrikation und Charakterisierung piezoelektrisch angetriebener 2D Mikrospiegel für RasterscannerGu-Stoppel, S. / Quenzer, H. J. / Benecke, W. et al. | 2015
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Optische Schnittstelle für photonische Wirebonds in photonischer BiCMOS-TechnologieMai, C. / Lischke, S. / Kroh, M. / Hoose, T. / Lindenmann, N. / Koos, C. / Mai, A. / Zimmermann, L. et al. | 2015
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Laser Induced Forward Transfer als innovatives Direct-Write Verfahren zur Herstellung leitfähiger StrukturenHecht, Lars / Rager, Korbinian / Dietzel, Andreas et al. | 2015
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Markerfreier Lab-on-Chip Biosensor basierend auf photonischen a-Si:H-ResonatorenMoldenhauer, Lennart / Lipka, Timo / Wahn, Lennart / Trieu, Hoc Khiem et al. | 2015
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Thermisches Energy Harvesting mit magnetischen Formgedächtnis- DünnschichtenGültig, M. / Ohtsuka, M. / Miki, H. / Takagi, T. / Kohl, M. et al. | 2015
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Piezoelektrische ohmsche MEMS-Schalter mit bidirektionalem Antrieb und geringen SchaltzeitenStoppel, F. / Lisec, T. / Wagner, B. / Benecke, W. et al. | 2015
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Herstellung und Integration piezoelektrischer Pb(ZrxTi1-x)O3-Schichten außerordentlicher Schichtdicke für die Erschließung neuer AnwendungsgebieteKaden, D. / Quenzer, H.-J. / Koessler, D. / Sichelschmidt, J. / Jakob, A. / Wagner, B. / Jung, T. / Tiefensee, F. et al. | 2015
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Modellierung nass-chemischer Porösizierverfahren auf LTCC für elektromagnetische Hochfrequenz FeldsimulationTalai, Armin / Steinhäußer, Frank / Bittner, Achim / Schmid, Ulrich / Weigel, Robert / Kölpin, Alexander et al. | 2015
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Magnetresonanz-kompatibler Mini-Inkubator für die Untersuchung der Epileptogenese in vitroKamberger, R. / Göbel, K. / Gerlach, J. / Gruschke, O. G. / LeVan, P. / Leupold, J. / Elverfeldt, D. von / Hennig, J. / Haas, C. / Korvink, J. G. et al. | 2015
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Low-Cost Edelstahl-Mikropumpe zur Probenzufuhr eines miniaturisierten Gassensorsystems zur BrandfrüherkennungWald, C. / Richter, M. et al. | 2015
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Miniaturisierte Oberflächenplasmonenresonanz SensorplattformHausler, P. / Holler, S. / Hirsch, T. / Bierl, R. et al. | 2015
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Optische und taktile Sensoren für die Inline-Prozessüberwachung bei der spanenden FertigungFrank, Th. / Fiedler, M. / Völlmeke, St. / Winzer, A. T. / Görlandt, St. / Ortlepp, H.-G. / Steinke, A. / Doering, L. / Lahmann, H.-W. / Reich, S. et al. | 2015
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Oberflächenplanare Integration von SensorchipsVierhaus, J. / Schmaus, C. / Kießig, A. / Schubert, W. / Burte, E. P. et al. | 2015
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Intuitive Steuerung einer Mikroproduktionsanlage durch mehrere haptische EingabegeräteTiemerding, Tobias / Mikczinski, Manuel / Diederichs, Claas et al. | 2015
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Mikrofügen mit reaktiven NanokompositenKremer, Matthias P. / Tortschanoff, Andreas / Guber, Andreas E. et al. | 2015
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Point4Micro – Identifizierung von Potenzialen für die Produktion von Mikrosystemen bis zur Stückzahl 1 durch die Verknüpfung von Mikroaufbautechniken und Industrie 4.0-KonzeptenFritz, K.-P. / Barth, M. / Schwenck, A. / Polzinger, B. / Pütz, J. / Kessler, U. / Zimmermann, A. et al. | 2015
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Parameteridentifikation von Material und Prozessparametern im Package mit Hilfe des StresschipsSchindler-Saefkow, Florian / Rost, Florian / Rzepka, Sven et al. | 2015
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Integration kostengünstiger elektrothermischer Polymeraktoren in LeiterplattensystemeWinterstein, T. / Islam, S. / Khoury, M. El / Nakic, C. / Schlaak, H. F. et al. | 2015
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Die Gleichgewichtsgeschwindigkeit in Mikrokanälen für die Größenmessung von Partikeln: Welche Partikel sind am schnellsten?Baßler, Michael / Sommer, Christian / Böttger, Tim / Wittek, Jörn / Drese, Klaus Stefan / Alebrand, Sabine / Schönfeld, F. et al. | 2015
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Sichere und interaktive Steuerung von Produktionsanlagen durch vernetzte UmfeldsensorenLenhard, Thilo / Kölpin, Alexander et al. | 2015
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In Kieselglas monolithisch integriertes InterferometerWeigel, C. / Markweg, E. / Hoffmann, M. et al. | 2015
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Dosierplattform zur Deposition von photoaktiven Fluiden für Anwendungen in der PhotonikHofmann, A. / Kröger, M. / Ungerer, M. / Wondimu, S. F. / Kohler, D. / Dietrich, P.-I. / Wienhold, T. / Lauermann, M. / Koos, C. / Bretthauer, G. et al. | 2015
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Zweidimensionaler Vertikaler Hallsensor in CMOS-TechnologieSander, C. / Leube, C. / Paul, O. et al. | 2015
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Design und Fertigung eines optofluidischen Messsystems zur kapnometrischen ÜberwachungWeigel, C. / Grewe, A. / Hoffmann, M. et al. | 2015
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Neues Co-Casting-Verfahren zur Herstellung Piezoelektrischer Mehrlagen-Bauteile mit Silber-InnenelektrodenMedesi, Anna / Megnin, Christof / Hanemann, Thomas et al. | 2015
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Zemax®-Simulationen zur Entwicklung eines Wafer Level Optopackage für 2D-MikrospiegelStenchly, V. / Schwarz, F. / Quenzer, H. J. / Benecke, W. et al. | 2015
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Entwicklung eines MikropixelsiliziumphotomultipliersLong, L. / Möller, Ch. / Ortlepp, Th. et al. | 2015
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Design und Herstellung eines akustischen Wandlers mit einer PolymermembranKaiser, M. / Rechel, M. / Goldmann, J. / Rissing, L. / Wurz, M. C. et al. | 2015
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Kupfer-Dickfilmstrukturen für Silizium-Karbid Leistungsmodule mit hoher IntegrationsdichteMeisser, Michael / Schmenger, Max / Leyrer, Benjamin / Bernd, Martin / Blank, Thomas et al. | 2015
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Niedertemperatur-Bondverfahren für thermisch-elektrische HochleistungssystemeMöller, Eike / Bajwa, Adeel Ahmad / Wilde, Jürgen et al. | 2015
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Extensions of the IEEE 802.15.4 protocol for the usage with highly energy-saving real-time communicationPhuong, Nguyen Minh / Schappacher, Manuel / Sikora, Axel et al. | 2015
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Elektro-Mechanischer Delta-Sigma Modulator für MEMS DrehratensensorenRombach, Stefan / Maurer, Michael / Wendler, Daniel / Manoli, Yiannos et al. | 2015
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Rolle zu Rolle geprägte Mikrofluidik-Chips mit vollständig gedruckten FotosensorenRödlmeier, T. / Eschenbaum, C. / Eckstein, R. / Döringer, H. / Valouch, S. / Hernandez-Sosa, G. / Lemmer, U. et al. | 2015
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SmartSkin - Eine intelligente Haut für adaptiv bionische GreiferSaller, Stefan / Harendt, Christine / Kostelnik, Jan / Schreivogel, Alina / Mahsereci, Yigit / Burghartz, Joachim N. et al. | 2015
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Charakterisierung von Oberflächenablagerungen mit einem Mikrobiegebalken-Tastsensor im Kontakt-ResonanzmodusSuryo Wasisto, Hutomo / Dang, Ruochen / Doering, Lutz / Brand, Uwe / Peiner, Erwin et al. | 2015
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Grenzen der Dosiergenauigkeit eines geregelten Nanoliter pro Sekunde Mikrodosiersystems für Schmierstoffdosierung mit einem kapazitiven Time-of-Flight Flow SensorKibler, S. / Richter, M. / Kutter, C. et al. | 2015
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Intelligente Steckverbinder und Anschlusstechnologien für die Produktion der ZukunftMichels, Jan S. / Mödinger, R. / Meier, O. / Baar, C. / Ansorge, F. / Schiefelbein, F.-P. et al. | 2015
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Gesputterte Germanium-Dünnfilme auf flexiblen transparenten Substraten für elektro-optische ApplikationenFeili, Dara / Penth, Michael / Kiefer, Christian / Seidel, Helmut et al. | 2015
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Selbstkalibrierendes Ultraschallsystem für die Lokalisierung mobiler Einheiten in der IntralogistikTraub-Ens, Alexander / Bordoy, Joan / Wendeberg, Johannes / Höflinger, Fabian / Schindelhauer, Christian / Reindl, Leonhard M. et al. | 2015
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Mehrskalige multi-physikalische Simulation elektro-optischer Leiterplatten mit multimodalen Polymer-basierten WellenleiternBalapuram, Vaibhav / Hartwig, Haldor / Hohlfeld, Dennis et al. | 2015
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Magnetischer Formgedächtnisaktor mit intrinsischer LagesensorikYin, R. / Wendler, F. / Kohl, M. et al. | 2015
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Ein neues Laser-Ablationsverfahren zur sub-5 µm Strukturierung von Dünnfilm-PolymerenTöpper, Michael / Wilke, Martin / Wöhrmann, Markus / Jaeger, Danny / Lang, Klaus-Dieter et al. | 2015
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Optische Koppler-Strukturen aus SU-8 und Ormocer® zur Verwendung in einem optischen MikrogyroskopLeber, I. / Niesel, T. / Bitter, M. / Dietzel, A. et al. | 2015
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Technologieentwicklung einer post-process Elektrodenspaltverringerung zur Herstellung von hochauflösenden SensorsystemenMeinecke, Christoph / Müller, Mathias / Rennau, Michael / Reuter, Danny / Ebert, Robby / Bertz, Andreas / Exner, Horst / Geßner, Thomas et al. | 2015
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Fertigung von Dünnfilm-Folien-Dehnungsmessstreifen durch Laserstrukturierung und Siebdruck TechnikVollberg, D. / Probst, A.-C. / Langosch, M. / Cerino, M. / Schultes, G. et al. | 2015
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EXPRESS - Mobilising Expert Resources in the European Smart Systems Integration EcosystemNjah, A. / Neuy, C. / Goenaga, J. M. et al. | 2015
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Aufbau eines HF-MEMS-Schalters in einem Silicium-Keramik-VerbundsubstratGropp, Sebastian / Fischer, Michael / Hoffmann, Martin et al. | 2015
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Ein Multiresonant abgestimmter Hemlholtzdetektor für MRT und 2D NMR von flüssigen Proben mit 100 nl VolumenHöfflin, Jens / Spengler, Nils / Badilita, Vlad / Wallrabe, Ulrike / MacKinnon, Neil / Korvink, Jan Gerrit et al. | 2015
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Telemetriesystem zur nicht-invasiven Glukosemessung in der TränenflüssigkeitFischer, Roland / Hennig, Andreas / Lauko, Jan / Wilson, Christopher / Goertz, Michael / Mokwa, Wilfried et al. | 2015
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Ein dreiachsiger oszillierender Mikrotaster für die KoordinatenmesstechnikGoj, Boris / Dressler, Lothar / Hoffmann, Martin et al. | 2015
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Untersuchung des endothelialen Wachstums innerhalb eines mikrofluidischen Systems zur Nachbildung physiologischer Barrieren mit integrierter SensorikRajabi, Taleieh / Ahrens, Ralf / Huck, Volker / März, Martin / Gantenbein, Hanna / Schneider, Stefan W. / Schroten, Horst / Guber, Andreas et al. | 2015
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Aufbau hochintegrierter Sensorsysteme mittels Inkjet-Druck und Film Assisted MoldingKeck, J. / Hera, D. / Juric, D. / Polzinger, B. / Liedtke, L. / Eberhardt, W. / Kück, H. / Zimmermann, A. / Ehrenpfordt, R. / Schulze-Spüntrup, J. D. et al. | 2015
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Zwei-Photonen-Polymerisationsprozesse auf WafergrößeMarkweg, Eric / Petzold, Norman / Kowallik, Thomas / Mämpel, Jörg / Mollenhauer, Olaf et al. | 2015
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Tintenstrahldruck ermöglicht eine maskenfreie strukturierte Mikrogalvanik zur Herstellung von miniaturisierten SpulenMeissner, Markus V. / Spengler, Nils / Mager, Dario / Korvink, Jan G. et al. | 2015
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Neue Halbleitertechnologien für das “Internet der Dinge”Teepe, Gerd et al. | 2015
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Montage von Mikrosystemen durch reaktives FügenSchumacher, Axel / Salmen, Ulrike / Knappmann, Stephan et al. | 2015
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Auswirkungen von Reflexen an Seitenwänden von Goldabsorbern in der RöntgentiefenlithographieLast, A. / Börner, M. / Marschall, F. / Meyer, P. / Simon, M. / Márkus, O. / Georgi, S. / Mohr, J. et al. | 2015
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Flexible LCP-basierte Mehrlagenschaltungen in Dünnschichttechnik: Herstellungstechnologie und CharakteristikaKaiser, Alexander / Bee, Carlos Maximilian / Matej, Paul / Herbort, Christian / Holl, Bruno / Rueß, Karin / Bauböck, Günther / Dupuis, Frédéric / Fritz, Karl-Heinz / Metzen, Rene von et al. | 2015
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Surface polishing of rough (110) silicon plane by HNA etching resulting from wet anisotropic KOH etchingKhazi, Isman / Mescheder, Ulrich et al. | 2015
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Vergleichende Untersuchung und systemische Betrachtung verschiedener digitaler Ein-Düsen-Druckverfahren zur Herstellung funktionaler MikrostrukturenUngerer, Martin / Gengenbach, Ulrich / Hofmann, Andreas / Bretthauer, Georg et al. | 2015
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Simulation und Charakterisierung einer bi-direktionalen Dreikammermikropumpe aus EdelstahlArtelsmair, A. / Wackerle, M. / Richter, M. / Irlinger, F. et al. | 2015
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Ultraschall-Thermoformen von Überlastsensoren für kohlenstofffaserverstärkte KunststoffbauteileNieradzik, T. / Kukla, C. / Gerhardy, C. / Schomburg, W. K. et al. | 2015
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Low-Cost MEMS-basiertes Mess-System zur MotordiagnoseAhrend, Ulf / Wildermuth, Stephan / Orman, Maciej / Rzeszucinski, Pawel et al. | 2015
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Laserlöten hochpräziser optischer MikrosystemeHornaff, M. / Burkhardt, T. / Ribes, P. / Mohaupt, M. / Zaage, B. / Kamm, A. / Beckert, E. / Eberhardt, R. et al. | 2015
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Ultradünne flexible Leiterplatten für industrielle Anwendung, Sensorik und BiomedizinGutöhrlein, K. / Stumpf, A. / Heusel, G. / Röhler, S. / Burkhardt, C. J. / Stett, A. et al. | 2015
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System Level Simulation of Compact Parametric Model of Magnetic Resonance Micro SensorZadeh, Sh. Gorgi / Kudryavtsev, M. / Jouda, M. / Korvink, J. G. / Bechtold, T. et al. | 2015
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Eine Temperatur- und Druckgeregelte Prüfkammer hoher Genauigkeit für MikrobauteileLotichius, J. / Christmann, E. / Asmus, A. / Kupnik, M. / Werthschützky, R. et al. | 2015
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Mikro-Analysegreifer für EinzelzelluntersuchungenGarcés-Schröder, M. / Leester-Schädel, M. / Böl, M. / Dietzel, A. et al. | 2015
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Smartphone-based rapid and highly sensitive immunoassay for human fetuin AVenkatesh, A. G. / Stetten, Felix von / Zengerle, Roland / Vashist, Sandeep Kumar et al. | 2015
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Cross-Cluster Industrie 4.0 SüdwestFunk, K. / Neuy, C. et al. | 2015
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Kalzifizierungsanalyse in einem MikrofluidikchipMaurer, P. / Gerhardy, C. / Gräber, S. / Jahnen-Dechent, W. / Schomburg, W. K. et al. | 2015
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Ultradünne Siliziumchips und Schaltungsträger für Anwendungen in flexiblen elektronischen SystemenSchuster, E. / Lorenz, E. / Berschauer, K. / Gneiting, T. / Harendt, C. / Kostelnik, J. / Kugler, A. / Wolf, J. / Burghartz, J. N. et al. | 2015
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Leiterbahnen zur Versorgung von Leistungselektronik auf Spritzgegossenen, keramischen GrundkörpernMatuschka, B. / Schulze, V. / Rohde, M. / Seifert, H. et al. | 2015
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Aluminiumnitrid Membranen mit vergrabenen IDT für neuartige MembranbiegeschwingerReusch, Markus / Katus, Philip / Schilling, Claudia / Holc, Katarzyna / Pletschen, Wilfried / Kirste, Lutz / Ambacher, Oliver / Reindl, Leonhard / Lebedev, Vadim et al. | 2015
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Dotierung von SiC mittels Energiefilter für IonenimplantationKrippendorf, Florian / Csato, Constantin / Akhmadaliev, Shavkat / Borany, Johannes von / Höchbauer, Tobias / Kern, Ronny / Rupp, Roland / Schustereder, Werner / Rüb, Michael et al. | 2015
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Automatisierte Nukleinsäurediagnostik in der LabDisk mittels frequenzgesteuerter Freisetzung vorgelagerter ReagenzienStumpf, F. / Schwemmer, F. / Hutzenlaub, T. / Strohmeier, O. / Stetten, F. von / Zengerle, R. / Mark, D. et al. | 2015
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Strukturen für Fluidik-Handling mit austauschbaren AktuatorenFreundlieb, Mareike / Schlüter, Michael / Padberg, Moritz et al. | 2015
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Design Automation for Microfluidic Biochips Considering Efficiency and ReliabilityLi, Bing / Tseng, Tsun-Ming / Ho, Tsung-Yi / Schlichtmann, Ulf et al. | 2015
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Magnetische Sensoren für Zustandsüberwachung und ProzesskontrolleSlatter, Rolf et al. | 2015
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Zeitkonstanten für die Relaxation thermomechanischer Spannungen in Silizium-Glas-VerbündenBlech, Michael / Übensee, Hartmut / Täschner, Robert / Brokmann, Geert / Xu, Xuemei / Ortlepp, Thomas et al. | 2015
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Miniaturisierte Hochfrequenz-Aktoren zur Beeinflussung der oberen turbulenten GrenzschichtKöble, Sören / Mansoor, Muhammad bin / Woias, Peter / Goldschmidtböing, Frank et al. | 2015
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Temperaturstabilisierung für Phosphoreszenz-Quenching-Sensoren zur SauerstoffdetektionBolse, Nico / Chouikh, Ghazi / Sellner, Michael / Eschenbaum, Carsten / Lemmer, Uli et al. | 2015
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Fertigung eines Gitterelektroden-Arrays zur selektiven hyperthermischen Manipulation von BiofilmenKaiser, M. / Rechel, M. / Stiesch-Scholz, M. / Rissing, L. / Wurz, M. C. et al. | 2015
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Nahfeldlokalisierung von Systemen in ProduktionslinienGulden, Peter / Fischer, Christian / Lipka, Melanie / Marschall, Albert / Fritzsch, Thomas / Franke, v / Vossiek, Martin et al. | 2015
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Hochdynamischer Stereosensor für die 3D-Bilderfassung und -verarbeitung in Anwendungen der intelligenten Service RoboticStrobel, Markus / Kersten, Daniel / Zanker, Michel / Pullmann, Jürgen / Döhn, Christian / Martakov, Yury / Fröbig, Timo et al. | 2015
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Hochauflösende Magnetfeld-PositionssensorenPaul, Johannes / Knoll, Heiko / Lenkl, Andreas / Tide, Ralf / Theis, Martin / Saumer, Monika / Vetter, Christian / Piorra, Andre / Meyners, Dirk / Lofink, Fabian et al. | 2015
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Kontinuierliche Fertigung hybrider MehrlagensystemeBrecher, Christian / Baum, Christoph / Bastuck, Thomas / Priwisch, Martin et al. | 2015
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Miniaturisiertes 3×3 LED-Array mit integrierten Glasfasern und hochflexiblem Flachbandkabel für Anwendungen in der OptogenetikSchwaerzle, Michael / Elmlinger, Philipp / Paul, Oliver / Ruther, Patrick et al. | 2015
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Interdigital gesteuerte piezoelektrische Mikromembranantriebe und deren SkalierungZaehringer, Sandy / Purr, Julia / Schwesinger, Norbert et al. | 2015
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Intelligente Magnetsensorik zum Einsatz in energieeffizienten und autarken PositionsgebernNoé, Kai Walter et al. | 2015
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Mikrofluidikmodule für die Biotechnologie: Herstellung und CharakteristikaVentruto, Reto / Schumacher, Patrick / Good, Hanspeter / Bauböck, Günther / Kaiser, Alexander / Fritz, Karl-Heinz et al. | 2015
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Entwicklung von Hochtemperatur Trench-Kondensatoren unter Verwendung von dünnen ALD-DielektrikaDietz, Dorothee / Celik, Yusuf / Goehlich, Andreas / Vogt, Holger / Kappert, Holger et al. | 2015
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Optische Charakterisierung von Stress-relaxierten aktiven MOEMS-Membranspiegeln mit großer AperturKronast, Wolfgang / Lange, Volker / Huster, Rolf / Mescheder, Ulrich et al. | 2015
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Hybrider Fertigungsprozess zur Integration von Drucksensoren auf die Oberfläche von TellerfedernRittinger, J. / Klaas, D. / Wurz, M. C. / Rissing, L. et al. | 2015
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Isotrope mechanische Aufhängung für 3D-MikrotastsystemeMetz, D. / Ferreira, N. / Dietzel, A. et al. | 2015
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Low-Power Sensor Netzwerk zur Überwachung des Raumklimas für die HausautomationLurz, Martin / Urbanek, Peter et al. | 2015
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Charakterisierung und Modellierung freistehender Silizium Membranen auf SOI-Basis für Drucksensor-AnwendungenGoehlich, A. / Jupe, A. / Stühlmeyer, M. / Celik, Y. / Schmidt, A. / Vogt, H. et al. | 2015
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SensIDLi: Ein Open-Source-Werkzeug für die Entwicklung von Kommunikationsschnittstellen smarter SensorsystemeRathfelder, Christoph / Groenda, Henning / Taspolatoglu, Emre et al. | 2015
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Ein ISO 18000-6C / EPC C1G2 kompatibles 24-GHz-RFID-Ein-Chip-System mit integrierter AntenneLischer, Sascha / Heiss, Michael et al. | 2015
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Brennstoffzellen aus LiGa-Technik für portable AnwendungenHahn, L. / Helm, P. / Baumgärtner, M. / Lanzinger, G. et al. | 2015
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Drahtlose Energieversorgung für rotierende DisksHöfflin, Jens / Delgado, Saraí Torres / Sandoval, Fralett Suárez / Korvink, Jan Gerrit / Mager, Dario et al. | 2015
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CMOS frequency division multiplexer enables multi-channel magnetic resonance imaging with a single channel spectrometerJouda, M. / Gruschke, O. G. / Fischer, E. / Leupold, J. / Elverfeldt, D. / Hennig, J. / Korvink, J. G. et al. | 2015
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Zweiachsiger Mikroschrittaktor mit großem Stellweg für die Positionierung von Blenden-ArraysEndrödy, C. / Mehner, H. / Sinzinger, S. / Hoffmann, M. et al. | 2015
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Proteindetektion mittels Quarz-Kristall-MikrowaagenThies, Jan-Wilhelm / Kuhn, Philipp / Masthoff, Ingke-Christine / Schulze, Torben / Rustenbeck, Ingo / Garnweitner, Georg / Dübel, Stefan / Dietzel, Andreas et al. | 2015
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Neuartiger Smart Tooth mit zehnfach höherer KraftauflösungBecker, F. / Kuhl, M. / Manoli, Y. / Paul, O. et al. | 2015
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Mikrosysteme für Kryofixierung bei kontinuierlicher Lebend-Zell MikroskopieMejia, Y. X. / Nocera, G. M. / Holik, P. / Feindt, H. / Steltenkamp, S. / Burg, T. P. et al. | 2015
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Entwurf und Test von Acoustic Emission Sensoren basierend auf dem MEMS-Bandpass-PrinzipFreitag, M. / Auerswald, C. / Wolf, P. / Sorger, A. / Dienel, M. / Shaporin, A. / Mehner, J. et al. | 2015
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Mikrosensor und Ausleseelektronik für miniaturisierte aktive medizinische ImplantateNawito, Moustafa / Link, Gorden / Stett, Alfred / Richter, Harald / Burghartz, Joachim N. et al. | 2015
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Resonant actuation concept for the manipulation of upper turbulent boundary layerMansoor, M. / Köble, S. / Goldschmidtböing, F. / Woias, P. et al. | 2015
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Zuverlässige Zugangskontrolle durch Authentifizierung mittels MEMS-basiertem Retinascanner mit zusätzlicher ProjektionsoptionWoittennek, Franziska / Knobbe, Jens / Pügner, Tino / Dallmann, Hans-Georg / Schelinski, Uwe / Grüger, Heinrich et al. | 2015
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Entwicklung einer Digitalen Mikrofluidik-Plattform zur Automatisierung eines TALEN Ligations-ProzessesEcken, Sebastian von der / Doll, Patrick / Ahrens, Ralf / Strähle, Uwe / Guber, Andreas E. et al. | 2015
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Klemmvorrichtung zur genauen Positionierung von 120° Silizium Doppelspiegeln in einem MOEMS-GyroskopNiesel, T. / Leber, I. / Dietzel, A. et al. | 2015
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Einstellbare optische und rheologische Eigenschaften eines auf Epoxyacrylat basierten Host-Guest-SystemsU. Gleißner, / Hanemann, T. et al. | 2015
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Wireless Power – Grenzen und Möglichkeiten einer Technologie in der MikrosystemtechnikRathge, Christian / Hoppe, Axel et al. | 2015
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Multisensor für mehrere Umweltgrößen auf LeiterplattenbasisSchwenck, et al. | 2015
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Entwicklung eines Multi-Antennen Wake-up EmpfängersKumberg, Timo / Tannhäuser, Robert / Reindl, Leonhard M. et al. | 2015
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Untersuchung des Ausfallverhaltens von Lotkontakten unter Temperaturwechsel- und VibrationsbelastungMeier, Karsten / Röllig, Mike / Bock, Karlheinz et al. | 2015
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Beschleunigte Zuverlässigkeitsuntersuchung von Siliziumnitrid bei schmalbandiger UV-BestrahlungSchmidt, A. / Dreiner, S. / Vogt, H. / Paschen, U. et al. | 2015
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Entwurf und Fertigung eines elektromagnetischen Normalkraftaktors in hybrider Bauform für taktile DisplaysRechel, M. / Rissing, L. / Hofmann, V. / Tarnowsky, A. / Wolter, F.-E. / Wallaschek, J. / Wurz, M. C. et al. | 2015
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Form-Gedächtnis Mikroventile für Fluid-SystemeMegnin, Christof / Ossmer, Hinnerk / Gültig, Marcel / Hanemann, Thomas / Kohl, Manfred et al. | 2015
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On-Chip Impedanz Trimming von transparenten und flexiblen ITO-Elektroden durch Laser Induzierte NanocutsAfshar, M. / Leber, M. / Poppendieck, W. / König, K. / Seidel, H. / Feili, D. et al. | 2015
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SERS-Substrate zur Integration in mikrofluidische SensorsystemeHabermehl, A. / Eckstein, R. / König, F. / Liu, X. / Eschenbaum, C. / Lemmer, U. et al. | 2015