Novel Analytical Methods for Cleaning Evaluation (Englisch)
- Neue Suche nach: Sparks, Chris M.
- Neue Suche nach: Diebold, Alain C.
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- Neue Suche nach: Reidy, Richard F.
- Neue Suche nach: Sparks, Chris M.
- Neue Suche nach: Diebold, Alain C.
In:
Handbook of Cleaning in Semiconductor Manufacturing
: Fundamental and Applications
;
543-564
;
2010
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ISBN:
- Aufsatz/Kapitel (Buch) / Elektronische Ressource
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Titel:Novel Analytical Methods for Cleaning Evaluation
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Beteiligte:Reinhardt, Karen A. ( Herausgeber:in ) / Reidy, Richard F. ( Herausgeber:in ) / Sparks, Chris M. ( Autor:in ) / Diebold, Alain C. ( Autor:in )
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Erschienen in:Handbook of Cleaning in Semiconductor Manufacturing : Fundamental and Applications ; 543-564Wiley‐Scrivener ; 543-564
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Verlag:
- Neue Suche nach: John Wiley & Sons, Inc.
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Erscheinungsort:Hoboken, NJ, USA
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Erscheinungsdatum:20.12.2010
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Format / Umfang:21 pages
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ISBN:
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DOI:
-
Medientyp:Aufsatz/Kapitel (Buch)
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Format:Elektronische Ressource
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Sprache:Englisch
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Schlagwörter:
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Datenquelle:
Inhaltsverzeichnis E-Book
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Surface and Colloidal Chemical Aspects of Wet CleaningRaghavan, Srini / Keswani, Manish / Venkataraman, Nandini et al. | 2010
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The Chemistry of Wet CleaningKnotter, D. Martin et al. | 2010
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The Chemistry of Wet EtchingKnotter, D. Martin et al. | 2010
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Surface Phenomena: Rinsing and DryingReinhardt, Karen A. / Reidy, Richard F. / Marsella, John A. et al. | 2010
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Fundamental Design of Chemical FormulationsRovito, Robert J. / Korzenski, Michael B. / Jiang, Ping / Reinhardt, Karen A. et al. | 2010
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Filtering, Recirculating, Reuse, and Recycling of ChemicalsGotlinsky, Barry / Pate, Kevin T. / Grant, Donald C. et al. | 2010
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Cleaning Challenges of High‐κ/Metal Gate StructuresHussain, Muhammad M. / Shamiryan, Denis / Paraschiv, Vasile / Sano, Kenichi / Reinhardt, Karen A. et al. | 2010
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High Dose Implant StrippingReinhardt, Karen A. / Korzenski, Michael B. et al. | 2010
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Aluminum Interconnect Cleaning and DryingMaloney, David J. et al. | 2010
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Low‐κ/Cu Cleaning and DryingReinhardt, Karen A. / Reidy, Richard F. / Daviot, Jerome et al. | 2010
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Corrosion and Passivation of CopperPeters, Darryl W. et al. | 2010
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Germanium Surface Conditioning and PassivationSioncke, Sonja / Chabal, Yves J. / Frank, Martin M. et al. | 2010
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Wafer ReclaimKorzenski, Michael B. / Jiang, Ping et al. | 2010
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Direct Wafer Bonding Surface ConditioningMoriceau, Hubert / Le Tiec, Yannick C. / Fournel, Frank / Ecarnot, Ludovic F. L. / Kerdilès, Sébastien L. E. / Delprat, Daniel / Maleville, Christophe et al. | 2010
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Novel Analytical Methods for Cleaning EvaluationSparks, Chris M. / Diebold, Alain C. et al. | 2010
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Stripping and Cleaning for Advanced Photolithography ApplicationsMarsella, John A. / Durham, Dana L. / Molnar, Leslie D. et al. | 2010
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Index| 2010
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Also of Interest| 2010
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