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Directed self-assembly of ternary blends of block copolymer and homopolymers on chemical patterns
American Institute of Physics | 2013| -
Understanding Kinetics of Defect Annihilation in Chemoepitaxy-Directed Self-Assembly
American Chemical Society | 2021| -
Towards an all-track 300 mm process for directed self-assembly
American Institute of Physics | 2011| -
Engineering the Kinetics of Directed Self-Assembly of Block Copolymers toward Fast and Defect-Free Assembly
American Chemical Society | 2018| -
Towards an all-track 300 mm process for directed self-assembly 06F203
Online Contents | 2011|Beteiligte: Rincon Delgadillo, Paulina A -
Frequency multiplication of lamellar phase block copolymers with grapho-epitaxy directed self-assembly sensitivity to prepattern
Online Contents | 2012|Beteiligte: Rincon Delgadillo, Paulina A. -
28nm pitch of line/space pattern transfer into silicon substrates with chemo-epitaxy Directed Self-Assembly (DSA) process flow
Online Contents | 2014|Beteiligte: Rincon Delgadillo, Paulina A.
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