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Synonyme wurden verwendet für: Far ultraviolet radiation
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Verwendete Synonyme:
- euv
- extrem ultraviolettstrahlung
- extreme ultraviolet radiation
- extremes ultraviolett
- ferne ultraviolettstrahlung
- fernes uv
- fuv
- rontgenultraviolett
- tief ultraviolett
- vacuum ultraviolet radiation
- vakuumultraviolett
- vakuumultraviolettstrahlung
- vuv bereich
- vuv strahlung
- xuv
-
Extreme ultraviolet (EUV) lithography II : 28 February - 3 March 2011, San Jose, California, United States; [the Second SPIE Conference on Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography is part of SPIE advanced lithography] / sponsored by SPIE. Bruno M. La Fontaine, ... ed. ; Pt. 2
TIBKAT | 2011|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett -
International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography 2009 : Prague, Czech Republic, 18 - 21 October 2009 / [Sematech] ; Vol. 2
TIBKAT | 2011|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett -
International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography 2010 : Kobe, Japan, 17 - 20 October 2010 / [Sematech] ; Vol. 1
TIBKAT | 2011|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett -
Schlussbericht zum Verbundprojekt "EUV-Lithographie für den 22nm-Knoten (EXEPT)", Teilvorhaben: "Arbeiten an Schlüsseltechnologien zur partikelfreien EUV-Maske" : Laufzeit 01.11.2010 - 31.08.2012
Freier ZugriffTIBKAT | 2013|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett -
Extreme ultraviolet (EUV) lithography II : 28 February - 3 March 2011, San Jose, California, United States; [the Second SPIE Conference on Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography is part of SPIE advanced lithography] / sponsored by SPIE. Bruno M. La Fontaine, ... ed. ; Pt. 1
TIBKAT | 2011|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett -
International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography 2010 : Kobe, Japan, 17 - 20 October 2010 / [Sematech] ; Vol. 3
TIBKAT | 2011|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett -
Damage to VUV, EUV, and X-Ray Optics VI : 24-25 April 2017, Prague, Czech Republic
TIBKAT | 2017|Schlagwörter: Vakuumultraviolett, Extremes Ultraviolett -
Coherent diffractive imaging of electron dynamics in the attosecond domain
Freier ZugriffTIBKAT | 2023|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett -
Damage to VUV, EUV, and X-Ray Optics VI : 24-25 April 2017, Prague, Czech Republic
TIBKAT | 2017|Schlagwörter: Vakuumultraviolett, Extremes Ultraviolett -
Sub-µm-Fokussierungs- und Tieftemperatur-Probenscaneinheit für den spin- und impulsauflösenden Photoemissions-Messplatz ASPHERE III an der XUV-Beamline bei PETRA III : Schlussbericht
TIBKAT | 2017|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett -
Simulation EUV Prozesse im Rahmen der Gesamtmaßnahme EUV Lithographie für den 22nm-Knoten : Schlussbericht ; Laufzeit des Vorhabens: 01.12.2010 - 31.12.2012
TIBKAT | 2013|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett -
Innovative Ansätze zur Oberflächenanalyse mittels XUV-Reflektometrie : Förderungsprogramm des BMWA, "Förderung von innovativen Netzwerken" (InnoNet) ; Abschlussbericht ; Berichtszeitraum: 01.01.2007 - 30.06.2010
Freier ZugriffTIBKAT | 2010|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett -
Optical and EUV lithography : a modeling perspective
TIBKAT | 2021|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett -
Advances in Metrology for X-Ray and EUV Optics X : 23 August 2023, San Diego, California, United States
TIBKAT | 2023|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett -
Schlussbericht zum Vorhaben "CATRENE-Projekt EXEPT", BMBF-Verbundprojekt: EUV Lithographie für den 22nm Knoten, Teilvorhaben: Diffraktive optische Elemente für EUV-Prüfoptiken : Laufzeit: 01.05.2009 - 31.05.2012
Freier ZugriffTIBKAT | 2013|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett -
EUV Lithographie für den 22 nm Knoten : EUV-Maskenreparatur und lokale Entfernung von Fremdmaterialien durch strahleninduzierte Oberflächenprozesse
Freier ZugriffTIBKAT | 2013|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett -
Oberflächenanalytik mit extrem ultravioletter Strahlung, XUV-Nano : Abschlussbericht zum Teilvorhaben des Laser-Laboratorium Göttingen e.V. ; im Rahmen des InnoNet-Verbundprojekts
Freier ZugriffTIBKAT | 2010|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett
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