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Synonyme wurden verwendet für: Far ultraviolet radiation
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Verwendete Synonyme:
- euv
- extrem ultraviolettstrahlung
- extreme ultraviolet radiation
- extremes ultraviolett
- ferne ultraviolettstrahlung
- fernes uv
- fuv
- rontgenultraviolett
- tief ultraviolett
- vacuum ultraviolet radiation
- vakuumultraviolett
- vakuumultraviolettstrahlung
- vuv bereich
- vuv strahlung
- xuv
-
EUV Projektionsobjektiv für 7nm Auflösung : im Rahmen des ECSEL Projektes "Seven Nanometer Technology" (SENATE) : Schlussbericht : Laufzeit: 01.04.2015-31.03.2018
TIBKAT | 2018|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett -
"EUV Projektionsobjektiv für 7nm Auflösung" : im Rahmen des ECSEL Projektes "Seven Nanometer Technology" (SENATE) : Schlussbericht : Laufzeit: 01.04.2015-31.03.2018
Freier ZugriffTIBKAT | 2018|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett -
Compact EUV & X-ray Light Sources : part of High Brightness : 21-25 March 2022, Budapest, Hungary
TIBKAT | 2022|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett -
Einflussfaktoren auf die Emissionseigenschaften einer EUV Strahlungsquelle im Langzeitbetrieb
TIBKAT | 2020|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett -
„Untersuchungen zur erzielbaren Auflösung der achromatischen Talbotlithografie mittels teilkohärenter extrem-ultravioletter Strahlung“
Freier ZugriffTIBKAT | 2023|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett -
Compact EUV & X-Ray Light Sources : part of High-Brightness Sources and Light-Driven Interactions : 23-25 March 2020, Prague, Czech Republic
TIBKAT | 2020|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett -
Compact EUV & X-ray Light Sources : part of High-brightness Sources and Light-Driven Interactions : 26-28 March 2018, Strasbourg, France
TIBKAT | 2018|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett -
Compact EUV & X-ray Light Sources : part of High-Brightness Sources and Light-Driven Interactions : 20-22 March 2016, Long Beach, California, United States
TIBKAT | 2016|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett -
Advances in X-Ray/EUV Optics and Components XVIII : 22 August 2023, San Diego, California, United States
TIBKAT | 2023|Schlagwörter: Extremes Ultraviolett
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