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Experimental verification of on-product overlay improvement by intra-lot overlay control using metrology based grouping [10147-38]
British Library Conference Proceedings | 2017 -
Fast prediction of process variation band through machine learning models
British Library Conference Proceedings | 2021| -
Automatic parameter setting for lens aberration control during product lot exposure
British Library Conference Proceedings | 2019| -
Metrology and deep learning integrated solution to drive OPC model accuracy improvement
British Library Conference Proceedings | 2019| -
Metal coated fiber sensor for laser power measurements with enhanced sensitivity
British Library Conference Proceedings | 2019| -
An OPC approach to improve logic gate features corner fidelity
British Library Conference Proceedings | 2019| -
Modeling of dynamic image performance for lithographic projection lens
British Library Conference Proceedings | 2019| -
Motion of optically bound particles in tractor beam [10712-27]
British Library Conference Proceedings | 2018
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