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Synonyme wurden verwendet für: Elektronenstrahllithografie
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- e beam lithography
- electron beam lithography
- elektronenlithografie
- elektronenlithographie
- elektronenstrahllithographie
-
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American Institute of Physics | 2009|Schlagwörter: E-Beam Lithography -
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American Chemical Society | 2013|Schlagwörter: electron beam lithography, high voltage electron beam lithography -
Contrast enhancement behavior of hydrogen silsesquioxane in a salty developer
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Optimized marker definition for high overlay accuracy e-beam lithography
Elsevier | 2012|Schlagwörter: E-beam-lithography -
Resist residues and transistor gate fabrication
American Institute of Physics | 2009|Schlagwörter: E-Beam Lithography -
Understanding the base development mechanism of hydrogen silsesquioxane
American Institute of Physics | 2009|Schlagwörter: E-Beam Lithography -
Study on line edge roughness for electron beam acceleration voltages from
American Institute of Physics | 2009|Schlagwörter: E-Beam Lithography -
Nanofabrication by electron beam lithography and its applications: A review
Elsevier | 2015|Schlagwörter: Electron beam lithography -
Statistical analysis of subnanometer residual disorder in photonic crystal waveguides: Correlation between slow light properties and structural properties
American Institute of Physics | 2011|Schlagwörter: electron beam lithography -
Electron Beam Lithography on Irregular Surfaces Using an Evaporated Resist
American Chemical Society | 2014|Schlagwörter: electron beam lithography -
Charge-induced pattern displacement in E-beam lithography
American Institute of Physics | 2019|Schlagwörter: E Beam Lithography -
Hydrogen silsesquioxane-based hybrid electron beam and optical lithography for high density circuit prototyping
American Institute of Physics | 2009|Schlagwörter: E-Beam Lithography -
Nanoscale geometry assisted proximity effect correction for electron beam direct write nanolithography
American Institute of Physics | 2009|Schlagwörter: E-Beam Lithography -
Ultradense gold nanostructures fabricated using hydrogen silsesquioxane resist and applications for surface-enhanced Raman spectroscopy
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American Institute of Physics | 2009|Schlagwörter: E-Beam Lithography -
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American Institute of Physics | 2009|Schlagwörter: E-Beam Lithography -
Fabrication of phononic crystals on free-standing silicon membranes
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Acceleration of e-beam lithography by minimized resist exposure for large scale nanofabrication
Elsevier | 2016|Schlagwörter: E-beam lithography -
Fabrication of high density, high-aspect-ratio polyimide nanofilters
American Institute of Physics | 2009|Schlagwörter: E-Beam Lithography -
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Elsevier | 2012|Schlagwörter: E-beam lithography
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